판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9229809

KARL SUSS / MICROTEC MA 6
ID: 9229809
웨이퍼 크기: 6"
Mask aligner, 6".
KARL SUSS/MICROTEC MA 6은 높은 정밀도로 집적 회로를 제작하는 데 사용되는 마스크 정렬 기입니다. 그것 은 "포토마스크 '를 반도체" 웨이퍼' 에 정확 하게 맞추어 무늬 로 만드는 자동화 된 장비 이다. 반도체 부품 제조에 사용되는 첨단 (advanced) 기술이다. MICROTEC MA6은 6 미크론 해상도의 6 인치 원 정렬 시스템을 갖추고 있습니다. 자동 정렬 단위는 photomask를 정확하게 배치하고 정렬하는 데 사용됩니다. 기계는 6 인치 직경, 고정밀 5 축 동작 제어 및 포토 마스크의 정렬 및 패턴을 모니터링하기위한 통합 된 3D 현미경을 가지고 있습니다. KARL SUSS MA-6은 또한 최고 2,000 라인/초의 스캔 속도와 5 미크론 미만의 라인 너비 해상도로 웨이퍼를 노출 할 수있는 고정밀, 고속 노출 도구를 갖추고 있습니다. 노출 자산은 자동 포토리스 스틱 검사 및 정렬 시스템뿐만 아니라 노출 강도, 패턴 정밀도 및 균일성 자동 최적화 (automatic optimization of exposure intensity, patterning accuracy and uniformity) 도 제공합니다. MICROTEC MA 6은 멀티 마스크 사진 해설을 위해 특별히 설계된 고정밀 트랙 모델을 갖추고 있습니다. 트랙 (Track) 장비는 고속 이동 (Fast Stage Movement) 및 동종 온도 분배를 제공하여 노출 과정에서 가장 정밀도를 보장합니다. 또한 KARL SUSS MA6 에는 다양한 애플리케이션에 맞게 사용자 정의할 수 있는 고급 소프트웨어 패키지가 있습니다. 사용자에게 친숙한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스), 네트워크를 통한 데이터 입력/출력, 향후 실행을 위한 설정을 저장할 수 있는 기능 등을 갖추고 있습니다. KARL SUSS/MICROTEC MA-6은 집적 회로 제조에 사용되는 고급 마스크 정렬 기기입니다. 또한 6 미크론 해상도, 고정밀 5 축 동작 제어, 고정밀, 고속 노출 장치 및 고급 소프트웨어 패키지로 6 인치 원 정렬 시스템을 제공하며, 반도체 웨이퍼에 포토 마스크를 정확하게 정렬하고 패턴화할 수 있습니다. 패키지. KARL SUSS MA 6은 집적 회로 제조 과정에서 가장 높은 정확도와 정확도를 제공합니다.
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