판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9188997

KARL SUSS/MICROTEC MA 6은 산업 응용을위한 높은 처리량 미세 구조 제조를 용이하게하도록 설계된 정교한 마스크 정렬 자입니다. 마스크 알리 그너 (mask aligner) 는 금속, 금속 산화물 및 금속 반도체 증착 구조가있는 기질의 생산과 투명 금속 산화물 구조와 같은 광학 기질의 생성에 사용된다. 마스크 정렬기는 두 개의 섹션, 즉 정렬자와 스테퍼로 구성됩니다. 마스크 정렬기는 정확한 AAS (Automatic Alignment Equipment) 를 사용하여 뛰어난 정렬 정밀도를 구현합니다. 이 시스템의 피쳐에는 기판 정렬을 위한 마스크의 자동 보간 (automatic interpolation) 과 자동 기울기/확대 (automatic tilting and magnification) 피쳐가 포함됩니다. 이를 통해 큰 형식 기판뿐만 아니라 정렬 오프축을 사용할 수 있습니다. "얼라이너 '는" 마스크' 를 기판 에 맞추는 데 사용 되고 "스테퍼 '는 석판 처리 를 시작 하는 데 사용 된다. 이 과정을 "마스크 노출 (mask exposure)" 이라고하며, 여기서 집중된 광자의 빔은 기판에 리토 구조를 노출시키는 데 사용됩니다. 노출 시간을 조정할 수 있으므로 노출된 치수를 매우 정확하게 제어 할 수 있습니다. MICROTEC MA6은 또한 서브 미크론 정확한 JA (Automatic Jump-type Substrate Alignment) 와 함께 사용할 수 있으며, 이를 통해 2mm 정도의 작은 기판을 정렬 할 수 있습니다. KARL SUSS MA-6에는 사진 광학 빔 모니터링 장치 (Photo-Optical Beam Monitoring Unit) 도 장착되어 있어 정렬 과정을 올바르게 따르고 인간 간섭을 최소화합니다. 이 모니터링 머신은 또한 노출 시간 (exposure time) 및 방사선 강도 (radiation intensity) 와 같은 노출 매개변수에 대한 피드백을 제공합니다. 마지막으로, KARL SUSS MA 6은 사용자 인터페이스에서 고품질 이미지 디스플레이 (High Quality Image Display) 를 제공하여 마스크를 기판에 매우 정확하게 정렬 할 수 있습니다. KARL SUSS/MICROTEC MA-6은 최첨단 마스크 정렬 기이며, 금속 및 광학 기판 생산에 널리 사용됩니다. 자동 정렬 도구 (Automatic Alignment Tool) 및 광범위한 피드백 (feedback) 옵션을 통해 원하는 미세 구조의 종류를 정확하게 생성할 수 있습니다. MA 6 의 모든 구성 요소는 품질과 효율성을 염두에 두고 설계되었으며, 마이크로구조를 제작할 때 최상의 결과를 얻을 수 있도록 설계되었습니다 (영문).