판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9179543

KARL SUSS/MICROTEC MA 6은 UV nanolithography 프로세스의 마스크 패턴 정렬에 사용되는 고급 마스크 정렬 자입니다. 반도체 제조 및 포토 마스크 제작을위한 도구입니다. 서브 미크론 정렬 기능을 갖춘 6 인치 웨이퍼를 제공 할 수 있으며, 마이크로 일렉트로닉 구성 요소의 미세 패턴화에 사용됩니다. MICROTEC MA6은 총 8 개의 자동 초점 센서를위한 4 개의 마스크 자동 초점 엔진을 포함하는 독특한 빔 스캔 장비를 갖추고 있습니다. 고해상도 광학 패턴 인식 (Optical Pattern Recognition) 기능을 통해 마스크의 패턴을 자동으로 재정렬하고 수정하는 데 사용됩니다. 고해상도 이미징 시스템은 또한 마스크 (Mask) 에서 사소한 왜곡을 감지하고 픽셀 해상도를 0.3 미크론까지 낮출 수 있습니다. 이 도구는 높은 처리량과 빠른 정렬 시간을 제공하도록 설계되었으며, 6 인치 웨이퍼 (wafer) 의 주기 시간은 6 분 미만입니다. 사용자는 자동 정렬 (Automatic Alignment) 과 최적화 (Optimization) 를 통해 높은 수율과 정확도를 보장 받을 수 있으며, 이는 온보드 소프트웨어에서 달성합니다. 이 장치는 고급 레이아웃 편집 소프트웨어와도 호환됩니다. 이 기계는 기존 석판화 (lithography) 환경에 통합되도록 설계되었으며, 처리량이 많은 어플리케이션을 위해 최대 150와트의 전력을 공급할 수 있는 저전압 (low-voltage) 전원 공급 장치와 고전압 (high-voltage) 전원 공급 장치를 모두 갖추고 있습니다. 또한, 지속적인 저항성과 노출을 균일하게 보장하기 위해 힘을 조정하여 어닐링 (annealing) 반응을 정확하게 제어 할 수 있습니다. KARL SUSS MA-6은 노출 시간 조정, 노출 영역, 빔 직경 등 다양한 사용자 제어 세트를 제공합니다. 또한 터치 패드 제어 (touch pad control) 를 통해 초점, 정렬 영역, 빔 형식을 약간 조정할 수 있습니다. 또한, 이 도구에는 패턴 더블러링 (deblurring) 및 레티클 (reticle) 추가가 가능한 추가 기능이 있습니다. MICROTEC MA 6은 신뢰할 수 있고 정확한 마스크 정렬 자입니다. 다양한 기능을 제공하며, 신뢰할 수 있는 툴을 제공하여, 마이크론 이하의 (sub-micron) 정렬과 높은 처리량을 제공합니다. MA 6은 포토 마스크 제조 공정 및 반도체 제조와 관련된 마스크 패턴화 (mask patterning) 요구 사항에 적합합니다.