판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9116715

KARL SUSS/MICROTEC MA 6은 photolithography 프로세스를 위해 설계된 마스크 정렬 자입니다. 현미경 패턴화 작업을위한 신뢰성이 높고 정확한 도구이며, 장치 제조, 나노 제작, 직접 쓰기, 박막 증착에 적합합니다. MICROTEC MA6의 중심에는 정밀 정렬 기술이 있습니다. 이 도구는 '자체 정렬 장비' 를 사용하여 돌출부와 언더 컷을 빠르고 정확하게 등록합니다. 이 시스템을 사용하면 반복 가능한 정확도 (10nm) 로 원하는 피쳐 위치를 정확하게 찾을 수 있습니다. 마스크 정렬기는 마이크로 프로세서가 제어하므로 쉽게 작동 및 프로그래밍할 수 있습니다. PA 6에는 9.7 인치 LCD 패널도 장착되어 있습니다. 이 패널은 패턴 데이터뿐 아니라 스테이지 컨트롤의 매개변수 (parameters) 와 정렬 (aligner) 설정을 표시합니다. 또한, 현장지원 프린터로 별도로 출력되는 데이터를 검토하기 위한 18 인치 모니터가 포함되어 있습니다. KARL SUSS MA-6에는 효율적인 노출 광원이 장착되어 있습니다. 이 광원은 UV (UV) 에서 적외선 (적외선) 까지 다양한 스펙트럼에 대한 제어 가능한 출력을 제공합니다. 이 광원은 또한 웨이퍼 전체에서 높은 노출을 가능하게합니다. 마스크 정렬기 (Mask Aligner) 는 전체 필드 광학 정렬 장치를 사용하여 사용자가 마스크의 필드 위치를 보고, 측정하고, 조정할 수 있습니다. 이 기계는 웨이퍼 전체에 걸쳐 정확한 오버레이 정렬을 보장하여 비 균일 노출 가능성을 줄입니다. KARL SUSS/MICROTEC MA6에는 다양한 단계 및 처리 시스템 (수동 및 자동 단계 선택) 이 장착되어 있습니다. 스테이지는 사용자의 가장 적합한 요구 사항에 따라 수동 또는 자동화됩니다. 이 단계의 정확도는 10nm이며 평균 단계 진동률은 0.1äm입니다. MICROTEC MA-6은 정확성, 정확성 및 신뢰성을 찾는 사람들에게 이상적인 솔루션입니다. 마스크 정렬자 (Mask Aligner) 의 유연성과 특징은 많은 사진 해설법 (Photolithography) 프로세스의 요구를 충족시키고 다양한 기판에 걸쳐 고품질 패턴을 제공합니다.