판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #293626982

KARL SUSS/MICROTEC MA 6은 평면 패널 디스플레이, 광학, MEMS 및 기타 유사한 응용 프로그램의 다양한 제조 프로세스에 사용하도록 설계된 고정밀 마스크 정렬 자입니다. 이 장비는 정확도가 높은 레이저 정렬 (Laser Alignment) 및 빔온 센서 (Beam-On Sensor) 를 결합하여 정밀 등록 및 정렬을 수행하는 독특한 정렬 시스템을 사용합니다. MICROTEC MA6 은 소프트웨어 기반 광 정렬 장치 (Optical Alignment Unit) 를 사용하여 다양한 작업에 액세스할 수 있습니다. 고급 소프트웨어를 사용하여 마스크 정렬 (wafer to mask alignment) 및 측정 (measurement), 이진 광학 베일링 (binary optical veiling), 패턴 투영 정렬 및 수정 등 여러 작업을 수행하도록 마스크 정렬자를 구성할 수 있습니다. KARL SUSS MA-6에는 마스크 스테이지와 웨이퍼 스테이지의 두 단계가 있습니다. 마스크 스테이지는 최대 50 미크론 위치의 3 개의 독립 액추에이터를 제공합니다. 웨이퍼 스테이지에는 고정밀 XYZ 스캐닝이 장착되어 있으며 최대 Z 이동 범위는 14mm, XY 스캐닝 범위는 각 방향으로 15mm입니다. 기계는 X 및 Y 방향으로 최대 5 미크론의 정렬 정확도를 제공 할 수 있습니다. 또한 KARL SUSS MA6에는 조정 가능한 초점과 가변 배율을 포함하는 특허 된 객관식 렌즈 (objective lens) 디자인이 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 마스크 이미지가 기판에 정확하게 초점을 맞출 수 있습니다. 안전성 및 편의성 향상을 위해 이 도구는 우발적 (accidental) 노출 방지를 위한 안전 연동 (safety interlock) 자산을 포함하고 있습니다. 또한이 모델에는 운영자 피로를 줄이는 인체 공학 디자인이 포함되어 있습니다. MICROTEC MA 6은 현대 광학 및 광학 공학의 다양한 구성 요소를 사용하여 평면 패널 디스플레이, MEMS 및 기타 유사한 응용 프로그램의 안정적이고 정확한 정렬 및 제작을 제공합니다. 이 매우 정밀한 마스크 정렬기 (mask aligner) 는 안정성, 성능 및 수명을 고려하여 설계되었으며, 제조 공정에서 필수적인 요소입니다.