판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #293623425

KARL SUSS/MICROTEC MA 6은 고급 반도체 장치 생산을 위해 설계된 고정밀, 완전 자동화 된 마스크 정렬 자입니다. 기판 웨이퍼의 장치를 최대 200mm 크기로 정렬하고 노출 할 수 있습니다. 이 마이크로프로세싱 머신 (microprocessing machine) 은 정교한 소프트웨어와 광학/모터 컨트롤을 사용하여 기판에 피쳐와 정렬 표시를 정확하게 배치합니다. 광학 시스템은 통신 렌즈, 정렬 빔 및 스테이지 모션으로 구성됩니다. 모터 제어는 X 및 Y 축 동작을 변화시킬 수 있으며 단계 동작과 연속 동작을 모두 통합합니다. 광학 빔 분할 기술 (Optical Beam Splitting Technology) 을 통해 기계의 정렬 기능이 더욱 향상되어 정렬 빔을 여러 반점으로 나눌 수 있습니다. 이렇게 하면 정렬 표시 (Alignment Mark) 와 피쳐를 동시에 여러 점으로 정렬할 수 있습니다. 광학 서브 시스템은 또한 매우 정확하며, 정렬 정확도는 최대 1äm입니다. MICROTEC MA6은 광학, e-beam 및 x-ray 리소그래피와 같은 다양한 저항 노출 기술을 제공합니다. 또한 솔더 볼 및 회로 컴포넌트 정렬에 사용할 수 있습니다. 기계의 자동 노출 및 정렬 기능 (auto-exposure and alignment function) 은 작은 기판에서도 가장 미세한 디테일이 정확하게 인쇄되도록 합니다. KARL SUSS MA-6에는 동봉 된 서피스, 사용자 친화적 인 연산자 인터페이스 등 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다. 또한, 기계에는 가공소재 매개변수를 제어 및 모니터링하도록 설계된 소프트웨어 패키지가 장착되어 있습니다. 이 소프트웨어를 사용하면 반복 가능한 프로세스 레시피를 쉽게 입력, 기록 및 저장할 수 있습니다. 마지막으로, MA6 는 신뢰성이 높도록 설계되었으며, 전 세계 생산 라인에서 성공적인 기록을 보유하고 있습니다. 견고성 강화 (Rugged) 디자인과 뛰어난 성능으로 고정밀도, 대용량 생산 요구 사항을 완벽하게 충족할 수 있습니다.