판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #293600857

KARL SUSS/MICROTEC MA 6은 반도체 산업의 photolithography 응용 프로그램을 위해 설계된 최첨단 마스크 정렬 자입니다. 정밀 마스킹 (precision masking) 과 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 를 미세 조정을위한 독특한 스캐너와 결합할 수 있는 고정밀 자동 정렬 장비가 특징입니다. 또한 MICROTEC MA6 은 모든 광 구성 요소에 대해 매우 높은 정확도를 제공하여 까다로운 리소그래피 (lithography) 프로세스에서 뛰어난 이미지 재현성을 제공합니다. KARL SUSS MA-6의 정렬 시스템은 정밀 마스킹 단계 (precision masking stage) 와 고정밀 웨이퍼 단계 (high-precision wafer stage) 의 두 가지 단계를 조합하여 0.15äm의 미세 위치 정밀도를 사용할 수 있습니다. 마스킹 스테이지는 마스크 및 웨이퍼의 우수한 정렬을 달성하기 위해 100äm 범위의 2 개의 정밀 5 축 piezo 액츄에이터를 사용합니다. 고해상도 스캔 헤드는 마스크 및 웨이퍼를 정밀도 0.3 도 (m) 로 정렬하도록 설계되었습니다. MA6에는 리소그래피 성능을 최적화하기 위해 모든 제어 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 마스크 및 웨이퍼 스테이지의 상태는 지속적으로 모니터링되어 복잡한 리소그래피 (lithography) 프로세스에 대한 뛰어난 신뢰성을 제공합니다. 소프트웨어를 사용하여 정렬 프로세스를 스크립팅하거나, 특정 응용 프로그램에 대해 장치 (unit) 를 최적화할 수 있습니다. KARL SUSS/MICROTEC MA-6에는 뛰어난 리소그래피 결과를 위해 여러 가지 고급 기능이 장착되어 있습니다. 고강도 UV 레이저 소스를 특징으로하며, 웨이퍼의 균일 한 노출을 제공합니다. 이미징 머신 (Imaging Machine) 에는 광도 (Light Intensity) 를 측정하기위한 고급 도구가 포함되어 있어 노출의 모든 지점에 대해 완벽한 노출 수준을 보장합니다. 또한, 마스크 및 웨이퍼의 미크론 스케일 정렬은 정밀 5 축 piezo 액츄에이터에 의해 제공됩니다. KARL SUSS MA 6은 스크리빙, 접촉 인쇄, 잉크젯 인쇄 및 포토 esist 리플로우 프로세스를 포함한 다양한 리소그래피 응용 프로그램에 적합합니다. 자산의 높은 정확도, 정밀도, 다용도 제어 소프트웨어는 고급 사진 해설을 위한 이상적인 선택입니다. 마스크 및 웨이퍼 스테이지의 올바른 조합으로, KARL SUSS MA6은 현대 석판화 프로세스의 어려운 요구를 충족시키기 위해 구성 될 수있다.