판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #293592970

KARL SUSS/MICROTEC MA 6은 고정밀 정렬 및 등록을 위해 설계된 고급 마스크 정렬 자입니다. 한 주기에 최대 6 개의 기판을 높은 정확도로 정렬 할 수있는 자동 레이저 (automated laser) 장비가 장착되어 있습니다. 정렬 및 등록의 정밀도는 x, y 방향 및 z 방향으로 1 유로의 0.5äm입니다. 이 시스템의 정확성은 매우 민감한 웨이퍼 에지 인식 기능 (wafer-edge recognition feature) 의 존재에 의해 더욱 도움이 됩니다. 정렬 및 등록 과정은 기판의 일련의 마커에 5 개의 개별 레이저 빔 (laser beam) 을 순차적으로 발사하여 수행됩니다. 각 마커 (marker) 는 필요한 공차를 충족하도록 모니터링 및 수정되어 선택 기판에 정확하게 정렬되고 결합됩니다. MICROTEC MA6 (MICROTEC MA6) 에는 기판의 로드/언로드를 용이하게하는 웨이퍼 스테이지 로봇 유닛 (wafer stage robot unit) 과 통합 열 머신 (integrated thermal machine) 이 포함되어 있습니다. 또한 마스크 정렬자 (Mask Aligner) 는 자동 레티클 교환과 통합 제어 센터 (Control Center) 를 통해 시각적 인터페이스와 프로세스 실시간 모니터링을 제공합니다. 고급 설계 (Advanced design) 를 통해 레시피 사이의 매개변수를 간단하고 쉽게 변경할 수 있으므로 정렬 프로세스의 유연성이 향상됩니다. KARL SUSS MA-6은 또한 비전 도구를 사용하여 레티클 (reticle) 을 스캔하여 각 기판에서 결함이없는 정렬을 보장합니다. MICROTEC MA 6은 전자, 광전자, 광전자 및 미세 전기 기계 시스템 (MEMS) 과 같은 다양한 산업에서 사용할 수있는 매우 신뢰할 수있는 마스크 정렬 자입니다. 자산 자체는 먼지 보호 (dust-protected) 방식이며, 대용량 클러스터 구성에서 대규모 클러스터 구성까지 다양한 운영 환경에서 사용할 수 있습니다. 동급 최고의 안정성과 안정성을 제공하므로 높은 정확성과 반복 (repeatability) 이 필요한 어플리케이션에 적합합니다. MA6 는 정밀 제조 공정에 미세 구조의 구성 요소를 정렬하는 데 이상적인 툴로서, 고품질, 고밀도, 반복 가능한 결과와 연동할 수 있습니다. 결론적으로 KARL SUSS/MICROTEC MA-6은 고정밀 응용 프로그램을 위해 설계된 고급 정렬기입니다. 자동화되고 신뢰할 수 있는 (HA) 모델을 통해 클래스의 뛰어난 안정성과 함께 정확한 정렬 및 등록을 제공할 수 있습니다. 이 장비는 먼지 보호 (dust-protected) 방식이며, 다양한 운영 환경과 구성에서 작동하므로 정밀 제조 공정에 매우 적합합니다.