판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #131530

ID: 131530
웨이퍼 크기: 6"
Topside and IR mask aligner, 6" With backside IR Chuck, 6" Split field optics: Torret type UV 400 Optics Lamp: 500W Mercury short-arc lamp Power supply: CIC 1000.
KARL SUSS/MICROTEC MA 6은 금속, 유리, 도자기 및 플라스틱을 포함한 다양한 재료의 정밀 정렬 및 사진 해설에 사용하도록 설계된 마스크 정렬 자입니다. MICROTEC MA6은 전극 증착, 포토 esist 처리 및 BioMEMS 마이크로 머키닝 응용 분야에 이상적입니다. KARL SUSS MA-6은 거의 모든 photoresist 또는 polymer 기판에 대해 정확하고 반복 가능한 사진 리소그래피 마스크 정렬을 보장하는 매우 정확하고 자동화된 이미지 정렬 장비를 갖추고 있습니다. 또한 마스크 정렬자 (Mask Aligner) 는 마스킹 구조와 기판 사이의 오프셋을 정확하게 측정 할 수있는 매우 민감한 광학 등록 시스템 (Optical Registration System) 을 갖추고 있습니다. 이 장치는 마스크를 0.5 마이크로미터 내에 정확하게 정렬 할 수 있습니다. MICROTEC MA 6은 또한 광범위한 고급 포토 esist 처리 기술을 제공합니다. 여기에는 가변 각도 평행 처리, 가변 방향 평행 처리 및 가변 초점 정렬이 포함됩니다. 또한 마스크 정렬기 (Mask Aligner) 는 광범위한 저항에 대한 선형 및 비선형 저항성 제어를 제공하는 자동 민감도 제어 머신을 갖추고 있습니다. 통합 소프트웨어는 photolithography cycle 동안 프로세스 시간, 온도, 기타 매개변수를 모니터링하고 제어할 수 있는 기능을 제공합니다. KARL SUSS MA 6은 고급 방열판 설계를 통해 우수한 온도 균일성을 제공합니다. 히트싱크는 기판 표면에 걸쳐 가열 된 공기를 균등하게 순환하도록 설계되었습니다. 이를 통해 사진 해설에서 최적의 효율성과 정밀도를 보장할 수 있습니다. KARL SUSS/MICROTEC MA6에는 직원, 장비 및 환경의 안전을 보장하는 통합 안전 기능도 포함되어 있습니다. 이러한 기능에는 가벼운 커튼, 안전 인터 록, 공기 여과 및 진공 격리 밸브 및 보호 쉴드가 포함됩니다. MICROTEC MA-6 (MICROTEC MA-6) 은 거의 모든 재료를 정확하게 정렬하고 리소그래피에 사용할 수있는 매우 다양한 도구입니다. 매우 정확한 이미지 정렬 도구, 고급 포토 esist 처리 기술, 우수한 온도 균일성 및 다양한 안전 기능은 KARL SUSS MA6을 거의 모든 응용 분야에 이상적인 선택으로 만듭니다.
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