판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 / BA 6 #9378159
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KARL SUSS/MICROTEC MA 6/BA 6은 웨이퍼 리소그래피를위한 매우 정확한 마스크 정렬 자입니다. 현미경 목표를 기반으로 한 정렬 시스템이있는 스테퍼 스타일의 노출 장비 (stepper-style exposure equipment) 로 구성됩니다. 스테퍼 스타일 노출은 자외선 (자외선) 을 사용하며 웨이퍼 표면의 제어 된 이미지 패턴을 제공합니다. 정렬 장치 (Alignment Unit) 의 목표는 웨이퍼 제작을 위해 마스크 패턴을 반복적이고 정확하게 정렬하는 것입니다. MICROTEC MA6/BA6은 다양한 기술을 활용하여 최적의 성능을 보장합니다. 광학 현미경 목표를 사용하는 자동 정렬 기계, 웨이퍼 균일성을 보장하는 평탄도 모니터, 웨이퍼 표면에 패턴을 생산하는 다중 채널 패턴 생성기, 서브 미크론 (sub-micron) 정확도를위한 에지 감지 도구 (edge-detection tool) 가 장착되어 있습니다. 또한, 효율적인 사용자 운영을 보장하고 패턴을 웨이퍼로 전송하기 위해 KARL SUSS MA6/BA6 용으로 특별히 개발된 여러 소프트웨어 패키지가 있습니다. MICROTEC MA 6/BA 6은 다양한 제작 작업에 대한 고성능 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 이 모델은 집적회로 제작, 반도체 부품, 평면 패널 (Flat Panel) 및 자동차 디스플레이 부품 등 다양한 애플리케이션에 사용할 수 있습니다. 초정밀 정렬이 가능하며, 0.5 미크론 미만의 고정밀도를 제공하며, 최대 작업 반복 성능은 10 미크론 미만입니다. 또한, 사용하기 쉬운 소프트웨어 기능은 다양한 패턴화 (patterning) 방법을 지원하며, 자동 정렬 에셋은 최소한의 폐기물로 고품질 기판을 생산할 수 있습니다. MICROTEC MA 6 BA 6은 정확성과 재현성이 필요한 생산 환경에 이상적인 석판 도구입니다. 고품질 정렬 및 이미징 정밀도와 효율적인 디자인, 사용자 친화적인 소프트웨어를 결합하여 효과적인 웨이퍼 (Wafer) 제작이 가능합니다. 넓은 온도 범위 (WTO) 로 작동하도록 설계되었으며, 광범위한 산업 분야에서 반복 가능한 프로세스에 적합합니다. 또한, 높은 정확도는 생산 과정에서 레이어의 정확한 정렬을 보장하여 고품질 (High-Quality) 제품을 생산할 수 있습니다.
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