판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 / BA 6 #9364593

KARL SUSS / MICROTEC MA 6 / BA 6
ID: 9364593
웨이퍼 크기: 2"-6"
Mask aligner, 2"-6".
KARL SUSS/MICROTEC MA 6/BA 6 Mask Aligner는 마이크로 전자 장치의 제조에 사용되는 자동 마스크 정렬 자입니다. MICROTEC MA6/BA6 장비는 정확하고 반복 가능한 마스크 대 기판 정렬을 특징으로하며, 이를 통해 타이트한 정렬 허용치를 구현할 수 있습니다. 이 시스템은 직경 6 인치까지 기판을 수용 할 수 있으므로 연구 응용에 적합합니다. KARL SUSS MA6/BA6 장치는 해상도가 1 미크론만큼 낮은 고급 정렬을 가능하게합니다. 고급 기울기 및 회전 정렬 기능과 함께 ± 3 미크론의 정렬 정확도는 정밀 마스크 대 기판 정렬을 가능하게합니다. 또한, 이 시스템의 전체 자동/수동 프로세스 기능을 통해 다양한 정렬 (alignment) 및 정렬 (alignment) 수정 작업을 수행할 수 있습니다. KARL SUSS/MICROTEC MA6/BA6 도구에는 높은 반복성, 정확성 및 안정성을 제공하는 스테퍼 모터 XY 스테이지가 포함되어 있습니다. 기판 및 마스크의 정확한 위치를 지정하여 완벽한 정렬을 보장합니다. 에셋은 또한 최적의 정확도를 위해 조정 가능한 크로스 헤어 포지셔닝 모델을 갖추고 있습니다. 또한 마스크 홀더는 다중 레이어 정렬을 위해 2.3mm 깊이를 조정합니다. MA6/BA6 장비는 공구가없는 조리개 교정 및 마스크 홀더 조정 시스템을 갖추고 있습니다. 고급 마스크 홀더 기울기 (tilt) 및 회전 제어 (rotation control) 는 다른 시스템보다 마스크 및 기판을 잘 조정합니다. 노출 된 마스크는 안전 및 보호를 위해 자동으로 커버되며, KARL SUSS MA 6/BA 6 장치는 정렬 전후에 모든 이미징 광학을 자동으로 지웁니다. KARL SUSS/MICROTEC MA 6/BA 6 Mask Aligner는 높은 정확성과 반복 성을 제공하여 마이크로 일렉트로닉스의 연구 응용 분야에 이상적입니다. 전체 자동/수동 프로세스 기능, 사용자 친화적인 정렬 제어 기능 등을 통해 운영 환경에 이상적인 솔루션이 될 수 있습니다. 높은 정확도와 정렬 기능으로 KARL SUSS MA-6/BA-6 기계를 사용하여 고품질 마이크로 일렉트로닉스를 생산할 수 있습니다.
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