판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 / BA 6 #9266620

KARL SUSS / MICROTEC MA 6 / BA 6
ID: 9266620
빈티지: 2001
Mask aligner 2001 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA 6/BA 6은 생산 및 연구 응용프로그램에 대한 일관된 고해상도 결과를 효율적으로 생성하도록 설계된 고급 마스크 정렬기입니다. 이 기계는 특허를받은 기계식 렌즈 디자인과 스테퍼 모터 제어 시스템 (stepper motor control system) 을 기반으로합니다. 고정 요소가 없는 광학 설계를 활용하여 MA 6 는 오버레이 정확도 (overlay accuracy) 와 정렬 정밀도 (alignment precision) 에 대한 가장 까다로운 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 스테퍼 모터가 설계한 이동 시스템은 부드럽고 조용한 작동을 보장하며, 수동 (manual) 과 컴퓨터 제어 자동화 (computer-controlled automation) 를 쉽게 교환할 수 있습니다. MA 6에는 94mm 조리개와 200nm의 정렬 해상도의 가변 정렬 범위가 있습니다. 멀티 레이어 정렬, 기판 전환을 지원하며, 스루홀 (through-hole) 기술로 쉽게 확장할 수 있습니다. MA 6의 특별한 특징은 6 도의 자유도 XYZRzi 운동입니다. 또한, MA 6은 향상된 광학 성능에 대한 조절 가능한 발병 각도와 UV 경화 재료를 녹이고 증착 할 수있는 기능을 가지고 있습니다. 또한 MA 6 와 함께 제공되는 소프트웨어는 사용자 친화적이며, 그래픽 운영 인터페이스를 제공하며, 사용자가 컴퓨터 제어 자동화 프로그래밍을 업로드, 제어할 수 있습니다. MA 6 는 엄격한 테스트를 거쳐 경쟁력 있는 가격으로 완벽한 인증을 받았습니다. 이것은 선도적 인 사진 (photolithography) 자료와 호환됩니다. 즉, 표준 실험실 프로토콜에서 사용할 수 있습니다. 또한 BA 6 (BA 6) 라는 더 큰 옵션을 사용할 수 있으며, 더욱 정밀하고, 해상도가 높으며, 처리량이 증가합니다. 전반적으로 MICROTEC MA6/BA6은 전문 생산 및 연구 어플리케이션에 이상적인 툴로서, 정확성과 유연성을 제공합니다. 고급 사용자 (Advanced User) 에게 이상적이며, 가면을 정렬하고 기판을 정확하게 제작할 수 있는 탁월한 성능을 제공합니다.
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