판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 / BA 6 #9163150
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ID: 9163150
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2000
Mask aligner, 6"
Configured for 5”
Currently stored in clean room
2000 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA 6/BA 6 Mask Aligner는 작은 중급에서 고급 반도체 기술 범위의 장치를위한 고급 마스크 정렬 자입니다. 이것 은 "마스크 '의" 패턴' 을 매우 정확 한 기판 으로 인쇄, 정렬 및 전달 하도록 설계 되었다. MICROTEC MA6/BA6 머신은 매우 정밀한 Z축 모션과 밝은 빨간색 다이오드 레이저를 사용하여 마스크 패턴을 장치에 정렬합니다. 매우 작은 패턴을 최대 55m까지 배치하고 정렬 할 수 있습니다. KARL SUSS MA6/BA6 Mask Aligner는 정밀 작동을 위해 매우 강력하고 안정적인 설계를 갖추고 있습니다. 이 기계는 단단한 BOSCH 스타일 데크로 제작되었으며 최대 6 개의 다른 마스크를위한 지그 위치를 갖습니다. 고급 선형 모터 구동 X축은 4 축 비전 시스템 및 로터리 스테이지 어시스트 (rotary stage assist) 와 결합하여 안정적인 패턴 배치 및 정렬을 보장합니다. 또한, 기계는 3 개의 카메라를 사용하여 마스크 대 기판 정렬을 확인합니다. KARL SUSS MA 6 BA 6 Mask Aligner에는 큰 최적화 인쇄 창이 있습니다. 엄청나게 빠른 10 인치 반복 기능으로 최대 4mm 크기의 매우 작은 패턴을 인쇄 할 수 있습니다. 수동 인쇄 (manual printing) 모드와 자동 인쇄 (automatic printing) 모드를 모두 제공하여 사용자가 이러한 기능을 원활하게 전환할 수 있습니다. 또한, 이 마스크 정렬기는 향상된 시청 결과를 위한 통합 LED 기반 백라이트 시스템을 갖추고 있으며, 최대 섭씨 150도까지 온도에 도달할 수 있습니다. 요약하면, KARL SUSS MA-6/BA-6 Mask Aligner는 패턴 정렬 및 전송을위한 안정성이 높고 정확한 도구입니다. X 축 선형 모터 드라이브, 다양한 마스크를위한 여러 가지 지그 포지션을 갖춘 견고한 디자인이 있습니다. 또한, 최대 섭씨 150도 온도의 수동/자동 인쇄 모드와 향상된 결과를 볼 수 있는 백라이트 (backlight) 시스템을 제공합니다. 다량의 산업 응용 분야에 이상적인 솔루션으로, 크기가 최대 4mm 인 소형 패턴 (small pattern) 을 인쇄 및 정렬할 수 있으며, 10 발의 리피터블 (repeatability) 을 제공합니다.
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