판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 / BA 6 #293639160

KARL SUSS/MICROTEC MA 6/BA 6은 반도체 산업을위한 정밀 장비 제조업체 인 MICROTEC의 마스크 정렬 자입니다. MA 6 및 BA 6 마스크 정렬기 시스템은 나노 미터 레벨 해상도가 필요한 고급 포토 리토 그래피 응용 프로그램에 정확하고 반복 가능한 결과를 제공합니다. MICROTEC MA6/BA6 마스크 정렬 자의 Z축 해상도는 0.01 미크론이고 최소 스텝 크기는 0.12 미크론입니다. < 0.1 미크론의 반복 가능성으로 기판을 배치 할 수 있습니다. 위치 지정 테이블은 700mm x 600mm 크기의 선형 배율을 가지며, 최대 크기 (12인치) 의 기판을 정확하게 배치할 수 있습니다. 이 기계에는 분할 필드 측정 기능을 갖춘 빠른 정렬 시간을 제공하는 듀얼 빔 (dual-beam) 장비가 장착되어 있습니다. 이중 빔 시스템에는 2 개의 레이저 다이오드 간섭계/위치 피드백 시스템이 포함되어 있어 나노 미터 수준의 위치 정확성을 제공하고 빠른 정렬을 허용합니다. 또한 30 배 이상의 확대 (field of view) 를 제공하는 고해상도 통신 광학 모듈이 장착되어 있습니다. KARL SUSS MA6/BA6 장치는 안정적인 결과를 보장하고 결함의 위험을 최소화하는 몇 가지 기능을 제공합니다. 오염의 위험을 줄이기 위해, 기계에는 노출 파장을 일관되게 유지하는 자동 초점 노출 도구 (autofocus exposure tool) 가 장착되어 있습니다. 또한 노출 중 기질 이동을 방지하는 진공 보류가 있습니다. 기판 의 "스크래치 '나" 덴트' 의 위험 을 최소화 하기 위하여 "에셋 '은 공기" 쿠션' 기능 으로 설계 되었다. 이 모델은 또한 고출력 수은 아크 및 XeCl 노출 램프 (XeCl exposure lamps) 와 같은 광범위한 노출 소스를 제공하며, 이는 노출 시간이 1 초 미만인 매우 높은 정밀 패턴을 제공합니다. 또한, 내장 UV 및 IR 필터는 깨끗한 작업 환경을 제공하여 모든 종류의 방사선의 기질 흡수 위험을 최소화합니다. 마지막으로, KARL SUSS/MICROTEC MA6/BA6 마스크 정렬기에는 광범위한 진단 및 서비스 도구가 장착되어 있으며, 전체 도구 제어를 통해 측정, 검사, 성능 테스트가 가능하므로 연구 및 개발에 이상적입니다. 다용도, 견고한 디자인 및 정확성으로 인해 MICROTEC MA-6/BA-6 마스크 정렬기는 모든 정밀 사진 다이어그래피 응용 프로그램에 이상적인 도구입니다.