판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #9382959

KARL SUSS/MICROTEC MA 56은 photomask 제작, 웨이퍼 이미징 및 다중 계층 프로세스 통합과 같은 산업 사진 해설을 위해 설계된 반자동, 초정밀 마스크 정렬 자입니다. MICROTEC MA56은 웨이퍼 (실리콘 웨이퍼 레이어) 와 함께 마스크 (투명도) 를 나노 미터 수준의 정확도에 정렬하여 웨이퍼에 패턴을 정밀하게 배치 할 수 있습니다. KARL SUSS MA-56은 로봇 동작 시스템 (robotic actuation system) 을 갖추고 있으며, 이는 0.5um의 반복 가능성을 가진 웨이퍼에 마스크의 정확한 높이와 전기 기계적 정렬을 가능하게한다. 이 장치는 직관적인 컴퓨터 제어 시스템 (computer control system) 을 사용하여 쉽게 설치 및 작동할 수 있습니다. KARL SUSS/MICROTEC MA-56은 고해상도 파우더 회절 자동 초점 및 최적의 정렬 정확성과 반복성을 위한 광학 간섭을 갖춘 이중 레이저 포지셔닝 시스템을 갖추고 있습니다. XY 스테이지에는 디지털 읽기 아웃 기능이 내장되어 있어 X 및 Y 축에서 최대 0.25um의 정렬 정확도가 가능합니다. 이 마스크 정렬기 (mask aligner) 는 또한 다양한 광학 및 기계 옵션을 제공하여 웨이퍼 레벨 제조를 위한 정밀 포토 마스크 생산을 용이하게합니다. 또한 MA 56에는 다양한 노출 시스템 및 펄스 다이오드 레이저, 스팟 빔 생성기, 광원 및 정렬 확대 현미경과 같은 옵션이 포함됩니다. 필터, 렌즈, 빔스플리터, 프로젝션 광학과 같은 다양한 광학 구성 요소는 강렬한 광선 방사선 (일반적으로 자외선 및 가시 파장 범위) 을 제공하며 빔 크기를 25 ~ 400 미크론으로 변경할 수있는 기능을 제공합니다. MA-56은 맞춤적이고 정확한 mask-to-wafer 정렬이 필요한 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 복잡한 포토 마스크를 위해 정확한 패턴 전송이 필요한 고객에게는 완벽한 솔루션이며 다이-투-다이 (die-to-die), 셀-투-셀 (cell-to-cell) 및 웨이퍼 레벨 패키징 (WLP) 에 적합합니다.