판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #9312543

ID: 9312543
웨이퍼 크기: 5"
Mask aligner, 5".
KARL SUSS/MICROTEC MA 56은 전자 및 광자 응용 프로그램을위한 최첨단 마스크 정렬기입니다. 그것 은 우리 의 유리 와 "실리콘 '" 웨이퍼' 를 포함 한 기판 에 정밀 "패턴 '을 정확 하게 배치 하고 결합 시키도록 설계 되었다. MICROTEC MA56은 서브 미크론 정밀 패턴화를 위해 완전히 자동화 된 컴퓨터 제어 스테퍼 모터 구동 장비입니다. 정확한 정렬, 결합 및 절단을 위해 6 축 동작 시스템이 장착되어 있습니다. 기판을 3 미크론의 정확도로 배치하고 직경이 최대 8 인치 인 웨이퍼 (wafer) 를 배치 할 수 있습니다. KARL SUSS MA-56은 웨이퍼를 안전하게 고정하는 진공 척 (vacuum chuck) 을 특징으로하며 최대 1: 10의 종횡비로 서브 미크론 패턴을 생산할 수 있습니다. 또한 짧은 파장 자외선을 사용하여 완성 된 패턴의 정확성을 보장하는 UV 정렬기 (UV aligner) 가 있습니다. KARL SUSS/MICROTEC MA-56에는 고급 4축 자동 스캔 장치가 있습니다. 이 기계는 전체 기판을 스캔하거나 기판의 영역 (area) 을 선택하도록 프로그래밍 될 수 있습니다. 또한 KARL SUSS MA 56은 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 를 제공하여 빠르고 쉬운 패턴 편집을 지원합니다. 또한, 이전 기판 노출에서 수집 한 데이터를 정확한 패턴 전송을 위해 사용하는 프로그래밍 가능한 자동 노출 최적화 (Auto Exposure Optimization) 기능이 있습니다. KARL SUSS MA56은 리소그래피, 플립 칩 결합 및 마이크로 일렉트로닉스 제작을 포함한 응용 분야를 위한 비용 효율적인 솔루션입니다. MA-56은 고급 광학 내비게이션 기술을 사용하여 정확한 패턴 배치를 보장합니다. 파인 라인 패턴화 (Fine Line Patterning), Z 높이 측정, 라인 너비 테스트 등 다양한 어플리케이션을 위한 다양한 액세서리와 툴이 있습니다. 또한 MA56 은 통합된 장애 분석 툴을 제공합니다. 전반적으로 MICROTEC MA-56은 다양한 전자 및 광자 응용 프로그램에 대한 효율적이고, 정확하며, 신뢰할 수있는 마스크 정렬기입니다. 사용이 간편한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 와 자동 스캐닝, 자동 노출 최적화 등의 고급 기능을 제공합니다. 또한 KARL SUSS/MICROTEC MA56은 비용 효율적이며 품질 관리 목적으로 통합 장애 분석 도구를 제공합니다.
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