판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #9270575

KARL SUSS/MICROTEC MA 56은 산업 연구 및 생산에서 사진 석기 프로세스에 사용되는 고정밀 자동 마스크 정렬 자입니다. 반도체 제작에 사용되는 것과 같은 포토 esist의 박막 (thin film) 을 배치하고 패턴화하는 데 사용됩니다. MICROTEC MA56은 5-115 미크론 기능 해상도를 가능하며 최대 500 나노 미터 두께의 레이어에 적합합니다. 기계는 서보 스테이지에 장착 된 이미징 시스템을 사용하여 시와퍼 (Si wafer) 와 같은 기판에 포토 리토 그래피 마스크 (photolithography mask) 를 노출시킵니다. 그런 다음, 기판 을 "이미징 '장치 근처 의 위치 로 옮겨, 거기 에 맞추어 집중 한다. 기계에서는 단일 축과 이중 축 정렬이 모두 가능합니다. 자동 정렬, 전체 시야 측정, 타겟팅, 크로스 헤어, 선형 자동 초점 등 다양한 정렬 방법을 사용할 수 있습니다. KARL SUSS MA-56은 질량 흐름 컨트롤러 (Mass Flow Controller) 를 사용하여 감광제 및 개발자와 같은 화학 물질의 기판에 전달을 정확하게 제어합니다. 온도, 습도, 화학 농도 및 플럭스 (flux) 와 같은 공정 조건을 쉽게 조정할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 광범위한 안전 기능을 제공하며, 현재 EMC 규정을 준수하고 있습니다. MICROTEC MA 56에는 직관적인 사용자 인터페이스와 구성 가능한 워크플로가 있습니다. C, Visual Basic 및 Pascal을 포함한 다양한 프로그래밍 언어를 실행할 수 있습니다. 이 기계는 원격으로 작동하여 원격 관찰 및 모니터링이 가능합니다. 전반적으로 KARL SUSS/MICROTEC MA-56은 사용자 친화적 인 고정밀 마스크 정렬 기이며, 다양한 photolithography 프로세스에 적합합니다. 높은 수준의 정확성과 반복성을 제공하며, 기능 해상도를 5 ~ 115 미크론까지 높일 수 있습니다. 이 기계는 단일 (single-axis) 및 이중 (double-axis) 정렬을 모두 수행할 수 있으며 프로세스 조건을 최적화하도록 쉽게 조정할 수 있습니다. 직관적인 사용자 인터페이스와 원격 운영으로 인해 MA56 은 업계 연구 및 생산에 유용한 툴이 되었습니다.