판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #9242466
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KARL SUSS/MICROTEC MA 56 Mask Aligner는 석판화 필드에 사용되는 인기있는 도구입니다. 이 마스크 정렬기는 마스크 및 기판을 정확하게 정렬하여 photolithography, e-beam 및 nano-imprinting과 같은 응용을위한 복잡한 photomicrographic 패턴을 만들 수 있습니다. MICROTEC MA56 은 고급 광/전자 제어 시스템을 사용하여 마스크 및 기판 정렬을 유지합니다. 이를 통해 높은 정확도로 연속 마스크의 정확한 반복 가능한 정렬을 달성 할 수 있습니다. 따라서 처리량이 증가하고 운영 비용이 절감됩니다. KARL SUSS MA-56의 작업 면적은 최대 546 x 420mm이며, 단계 및 반복에 대해 정렬 정확도는 25 jm입니다. MA-56은 스테퍼 모터로 구동되는 2 개의 파워 레일과 진공 손잡이를 사용하여 도구를 이동합니다. 이렇게 하면 정렬을 완료할 때 공구를 정확하게 배치할 수 있습니다. 모터는 기판 및 마스크를 기준으로 공구 위치를 정확하게 배치하는 데 사용됩니다. 이 시스템은 또한 데가 헤드 (degas head) 를 특징으로하며, 필요한 경우 챔버 컴포넌트를 퇴화시킬 수 있습니다. MA56 에는 다양한 광 그래픽 응용 프로그램 (photomicrographic application) 에 맞게 조정할 수있는 몇 가지 옵션이 있습니다. 여기에는 가변 포커스 렌즈, 고 조리개 렌즈 및 수용성 또는 서스펜션 노출 헤드가 포함됩니다. 또한 다양한 모니터와 디스플레이를 통해 포커스 설정 (focus settings), 노출 시간 (exposure time), 챔버 환경 (chamber environment) 과 같은 매개변수를 빠르게 조정할 수 있습니다. MA 56 은 사용이 편리하도록 설계된 직관적인 사용자 친화적 (user-friendly) 소프트웨어도 함께 제공됩니다. 이 소프트웨어는 C 와 호환되며 운영 매개변수, 정렬 설정, 레이어 설정, 전체 프로세스 모니터링 등 다양한 제어 기능을 제공합니다. 전반적으로 MICROTEC MA 56 Mask Aligner는 효율적이고 경제적인 도구이며, 현대적인 photomicrographic lithography 응용 프로그램의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 직관적인 사용자 친화적 소프트웨어뿐만 아니라 고급 (Advanced) 광/전자 제어 시스템 (Optical/Electronic Control System) 은 정확성과 신뢰성을 제공하므로 다양한 애플리케이션에 완벽하게 사용할 수 있습니다.
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