판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #9210757

KARL SUSS/MICROTEC MA 56은 마스크와 기판을 정확한 정확도로 정렬하도록 설계된 고정밀 마스크 정렬기입니다. 이 도구는 microfabrication 및 기타 microelectromechanical 시스템 (MEMS) 을위한 photolithographic 프로세스에 사용됩니다. MICROTEC MA56 마스크 정렬 자는 정렬 장치, 광학 및 전동 X, Y 단계로 구성됩니다. "얼라이너 '는 광원 을 사용 하여" 마스크' 의 "이미지 '를 기판 에 투영 하고 1.2" 미크론' 이내 의 높은 정밀 정렬 을 한다. 광학에는 조명 레티클, 빔 스플리터, 이미징 렌즈 및 빔 익스팬더 렌즈가 포함됩니다. 전동 X, Y 스테이지는 기판을 보유하며 높이 조정을위한 수동 Z 스테이지가 있습니다. KARL SUSS MA-56은 4 "x 5" 에서 8 "x 10" 범위의 다양한 크기의 마스크를 정렬 할 수 있습니다. 이 마스크 정렬기 (Mask Aligner) 는 설치와 작동을 단순화하기 위해 자동화된 기능을 갖춘 운영자 친화적으로 설계되었습니다. 즉, 고해상도 모니터에 정렬 절차를 표시하는 디지털 이미징 장비가 있습니다. KARL SUSS MA56은 또한 자동 대상 제어 시스템과 자동 초점 장치 (auto-focus unit) 를 갖추고 있어 정확한 정렬을 보장합니다. MICROTEC MA-56의 정렬 정확도는 1.2 미크론보다 우수하며 스팟 크기 기능은 6äm (FWHM) 입니다. 또한 마스크/기판 기능을 쉽게 볼 수 있도록 조명된 레티클과 직접 쓰기 프로세스용 UV 머신 (옵션) 을 갖추고 있습니다. MA 56 마스크 조정기는 정확도가 높은 어플리케이션을 위한 탁월한 선택으로, 빠르고, 정밀하며, 장기적인 성능을 제공합니다. 이 도구는 MEMS (Mems and photolithographic process) 를 위한 이상적인 도구로, 고정밀 구성 요소와 장치를 제작할 수 있습니다. 이 툴은 사용하기 쉽고, 경제적인 방식으로 정확한 결과를 제공합니다.