판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #9080239

KARL SUSS/MICROTEC MA 56은 반도체 장치 생산과 같은 사진 식도 응용 분야에 사용하도록 설계된 마스크 정렬 자입니다. 정밀도가 높은 장비로 네거티브 필름 마스터 (negative film master) 에서 웨이퍼 (wafer) 로의 패턴을 빠르고 정확하게 전송할 수 있습니다. 최소 기능 크기는 0.5 미크론으로 200mm 및 157mm 웨이퍼 크기로 작동 할 수 있습니다. 이 시스템은 두 가지 주요 구성 요소 (메인프레임 및 헤드 유닛) 로 구성됩니다. 메인프레임은 마스크 스테이지, 조명 소스, 광 구성 요소를 포함하는 기본 유닛입니다. 헤드 머신 (head machine) 은 메인프레임 위에 장착되며 노출 중 기판 위치를 제어하기위한 XY 스테이지와 Z축 드라이브로 구성됩니다. 머리 에는 또한 "마스터 '의 형상 을 기판 에 초점 을 맞추는" 프로젝션' 광학 이 들어 있다. 마스크 스테이지 (mask stage) 는 음의 필름을 마스크 플레이트에 정렬하기위한 보류 메커니즘으로 진공 척 (vacuum chuck) 을 사용합니다. 그것 은 "필름 '의 정확 한 정렬 을 위한 현미경 을 갖추고 있다. 조명원에는 마스크 재료에 맞게 다른 파장의 빛을 제공하기 위해 수은과 할로겐 전구 (halogen bulb) 가 모두 포함되어 있습니다. XY 단계에서는 기판 위에 필름을 단계적으로, 반복하여 정렬할 수 있습니다. 그것 은 "미크론 '까지 정확도 를 내리므로" 필름' 을 기판 에 정밀 하게 정렬 할 수 있다. 투영 광학 (projection optics) 은 전구에서 기판으로의 조명에 초점을 맞춘 고수 조리개 렌즈 도구입니다. 해상도가 0.5 미크론으로 매우 정확합니다. Z축 드라이브를 사용하면 노출 중 기판 위치를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 마이크로텍 MA56 (MICROTEC MA56) 은 포토리스토그래피 응용프로그램에 이상적인 솔루션으로, 네거티브 필름 마스터에서 웨이퍼로 빠르고 정확한 패턴 전송을 제공합니다. 고도의 정밀 구성 요소와 기능을 통해 제조업체는 반도체 장치를 빠르고 정확하게 생산할 수 있습니다.