판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #293818127

KARL SUSS/MICROTEC MA 56은 미세 전기 기계 시스템 (MEMS) 생산에 사용되는 자동 마스크 정렬 자입니다. 통합 옵틱, 자동 웨이퍼 스테이징, 다중 영역 난방 및 냉각을 사용하는 마스크 투영 시스템입니다. 그것 은 "패턴 '을" 실리콘' 기판 으로 정밀 하고 신뢰 할 만한 방법 을 제공 한다. 이 시스템에는 디지털 마스크 패턴 생성기와 고속, 고정밀 오브젝티브 렌즈 (objective lens) 가 장착되어 있으며 최소 선 너비 90nm, 최소 라인 간격 180nm의 패턴을 생산할 수 있습니다. MICROTEC MA56 (MICROTEC MA56) 은 최대 0.5 ½ m 해상도의 광범위한 패턴을 생산할 수 있습니다. 또한 정렬하는 동안 웨이퍼를 정확하게 배치하고 방향을 지정하기 위해 3 'X, Y 및 1/2 웨이퍼 스테이지가 특징입니다. KARL SUSS MA-56은 또한 고품질의 광원을 특징으로하며, 기존의 아크 램프 소스보다 더 큰 밝기와 균일성을 제공합니다. 이를 통해 기판에 정확한 정렬 및 패턴 전송이 가능합니다. KARL SUSS/MICROTEC MA-56의 광학 설계에는 여러 개의 높은 수치 조리개 목표가 포함되어 있으며 반자동 초점 및 재 초점이 가능합니다. 모든 패턴은 안정된 진동 보상 광학 상자를 통해 기판에 투영됩니다. MICROTEC MA 56은 자동화된 고정밀 정렬을 위해 설계된 다양한 기능을 제공합니다. 자동 웨이퍼 로딩, 다중 영역 난방 및 냉각, 정렬 정확도에 대한 디지털 제어, 프로세스 매개변수에 대한 전체 액세스 등이 특징입니다. 또한 복잡한 웨이퍼 형상에 대한 2 점 등록 및 로컬 등록이 특징입니다. MA-56은 MEM 시스템의 고정밀도, 대규모 제작에 이상적입니다. 정밀하고 정밀한 등록 (registration) 을 제공하면서, 패턴을 기판으로 정렬하고 전송하는 정확하고 반복 가능한 방법을 제공합니다. 포괄적인 소프트웨어 제품군은 모든 매개변수를 제어할 수 있는 사용하기 쉽고 유연한 메커니즘을 제공하며, 안정된 정렬 및 반복 (repeatability) 을 보장합니다. MA56 (MA56) 은 정확하고 일관된 결과로 매우 정밀한 마스크를 생산하는 고품질의 비용 효율적인 방법입니다.