판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #293745236

KARL SUSS/MICROTEC MA 56은 많은 광석기 공정에서 사용되는 고정밀 마스크 정렬 자입니다. 이 장치는 강렬한 광원과 높은 정확도의 XY 마스크 단계를 갖춘 특수 투영 광학 시스템을 사용합니다. MICROTEC MA56 (MICROTEC MA56) 을 사용하면 photomask를 정확하게 정렬하고 등록할 수 있으므로 결과 및 후속 레이어의 정확한 피쳐 정의와 정밀한 정렬이 가능합니다. KARL SUSS MA-56은 3 가지 주요 구성 요소 인 Mask 단계, Limiting Structure 및 Reticle로 구성됩니다. 마스크 (Mask) 단계는 photomask의 정확한 정렬을 담당하며 제한 구조 (Limiting Structure) 는 후속 레이어의 정확한 피쳐 정의와 정확한 정렬을 보장합니다. 레티클은 빛을 마스크에 초점을 맞추는 데 사용됩니다. MICROTEC MA-56의 고급 광학 시스템은 정확한 초점 메커니즘과 큰 발광 영역을 갖추고 있습니다. 이를 통해 정확한 제품 포지셔닝 및 소규모 기능 크기가 가능합니다. 또한 KARL SUSS MA56은 고급 자동 정렬 기능을 제공하여 설치 및 정밀한 정렬을 용이하게 합니다. MICROTEC MA 56과 관련된 고급 photolithography 소프트웨어를 사용하면 여러 노출 및 웨이퍼 등록 옵션을 사용할 수 있습니다. 이 장치는 최대 1600배까지 배율을 높일 수 있으며, 렌즈 해상도가 향상되었습니다. KARL SUSS MA 56에는 온도 조절 스테이지가 장착되어 프로세스 안정성이 향상됩니다. KARL SUSS/MICROTEC MA56은 또한 개선 된 기능 감지 정확도를 자랑하며, 이는 가장 정확한 광석기 학적 프로세스에도 적합합니다. MA 56의 정렬 정확도는 +/- 0.5 미크론입니다. MA-56은 softbake, bake, anneal 및 developing과 같은 다양한 photoresist 치료를 수행 할 수 있습니다. MA56 은 운영 전력 소모가 적고, 고품질 부품 사용으로 인해, 신뢰성이 높은 장비입니다. 고정밀 포토 마스크를 빠르고 정확하게 처리 할 수 있습니다. 결과적으로, 이 장치는 집적 회로, 반도체 장치 및 하이브리드 집적 회로의 생산에 광범위하게 사용됩니다.