판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #293740285

KARL SUSS/MICROTEC MA 56은 반도체 제작 과정에서 사용되는 아트 마스크 정렬 도구의 상태입니다. 세 가지 주요 구성 요소 (정렬 장비, 액추에이터 및 마이크로 조작기 시스템) 로 구성됩니다. 정렬 장치는 이중 광 텔레-리더 (tele-reader) 를 사용하여 마스크와 웨이퍼 모두에서 정렬 표시를 감지합니다. 그런 다음, 광학 Tele-Reader의 정확도에 따라 둘 사이에 참조 오프셋을 생성합니다. "액츄에이터 '는" 마스크' 와 "웨이퍼 '를 상대 위치 로 옮겨 거기 에 넣는 데 사용 된다. 마이크로 조작 장치 (micro-manipulator machine) 는 마스크와 웨이퍼를 참조 프레임으로 이동시키고 거기에 보관하는 조작기로 구성됩니다. 실제 피쳐 크기는 웨이퍼 (wafer) 에 인쇄하는 데 사용되는 마스크에 의해 결정되며, 이 피쳐 크기는 정렬 도구 (Alignment Tool) 에서 예상한 정밀도 (Accuracy) 도 결정합니다. 이 특수 도구를 사용하면 정렬 정확도가 1 미크론 (1 미크론) 이하로 인용되므로 고출력 RF, 아날로그, 디지털 장치 등 다양한 장치에 적합합니다. 액추에이터 (Actuator) 는 1.5 미크론으로 인용 된 반복 가능성을 가지고 있으며, 5 미크론에서 25 미크론 사이의 선 너비를 가진 장치에 적합합니다. 마스크 알리너 (Mask Aligner) 에는 웨이퍼 (wafer) 에 포토 esist 레이어가 제대로 노출되도록 7 배 스펙트럼 홍수 램프가있는 조명 자산도 포함되어 있습니다. 빛 은 사용 되는 "마스크 '에 특별 히 맞추어져 있으며 균질 한" 빔' 강도 를 지니고 있다. 이 조임 광선 (tight light beam) 은 공구가 정렬 모델과 함께 0.5 미크론 이하의 정밀도를 달성 할 수있는 것입니다. MICROTEC MA56에는 도량형 기능을 포함한 웨이퍼 청소 및 건조 기능도 포함됩니다. 전체 카세트-카세트 진공 작동이 가능하며 선택 가능한 Z축 지우기가 특징입니다. 또한, 이 도구에는 자동 테스트 기능, 최대 40C까지의 환경 제어, 온도 및 습도 제어, 경량 손상 보호 및 핫/콜드 척 (hot/cold chuck) 제어가 장착되어 있습니다. 전반적으로 KARL SUSS MA-56은 매우 정확하고 신뢰할 수있는 마스크 정렬 도구입니다. 아트의 상태 (State of the Art Components) 는 고출력 RF 장치에서 디지털 설계에 이르기까지 모든 종류의 응용 프로그램을 처리 할 수 있도록 합니다. 또한, 자동 테스트 기능뿐만 아니라 웨이퍼를 청소하고 건조 할 수있는 능력은 KARL SUSS/MICROTEC MA-56을 고급 반도체 제조 프로세스에 필수적인 도구가됩니다.