판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #293732395

KARL SUSS/MICROTEC MA 56 Mask Aligner는 기판으로의 패턴 전달을 위해 microfabrication 기술에 사용되는 정밀 기계입니다. 마스크 정렬 (Mask Aligner) 은 photolithography 응용 프로그램에 제어된 조명을 사용하여 기판을 사용하여 photomask를 정렬하는 도구입니다. MICROTEC MA56은 4-8 인치 웨이퍼와 다양한 기판 크기를 처리 할 수있는 테이블 탑 Aligner입니다. KARL SUSS MA-56의 핵심 구성 요소는 회절 광학 요소 또는 빔 스플리터 인 DOE입니다. 이 DOE는 빔을 분할하여 KARL SUSS/MICROTEC MA56에 고유 한 정렬 기능을 제공하는 다른 비율의 부분 빔을 생성합니다. 이러 한 부분적 "빔 '을 변조 할 수 있어서" 마스크' 를 기판 위 에 정밀 하게 정렬 할 수 있다. 또한, KARL SUSS/MICROTEC MA-56에는 조절 가능한 가스 압력 챔버 (Gas Pressure Chamber) 가 장착되어 있으며, 이는 사진 석판 처리 과정에서 기판의 압력을 제어하는 데 사용될 수있다. KARL SUSS MA56 (KARL SUSS MA56) 을 사용하면 정렬 및 오버레이 프로세스와 관련된 다양한 매개변수를 제어 및 선택할 수 있습니다. 이러한 매개변수에는 필드 크기, 광원 양, 광원 강도, 광원 위치, 노출 시간 등이 포함됩니다. 이를 통해 사용자는 프로세스를 개별 작업에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. MA-56은 강력하고 구성 가능한 도구입니다. 고해상도, 미세 이동 기능, 자동 패턴 정렬, 자동 마스크 정렬 (Auto-Mask Aligner) 제어 등 정확성과 반복성을 높이는 여러 가지 기능이 있습니다. 이것은 생산 및 복잡한 연구 응용 분야에 적합합니다. 또한 사용자 친화적 인터페이스 (LCD 터치 스크린 포함) 를 통해 다양한 기능을 손쉽게 탐색할 수 있습니다. MICROTEC MA 56 Mask Aligner는 다양한 기능을 갖춘 포토 리토 그래피 및 마이크로 패브레이션 프로세스를위한 최적의 도구입니다. 압전 단계 (piezoelectric stage) 는 마스크 및 기판 재료의 정확한 정렬을 허용하는 반면, 조절 가능한 가스 압력 챔버 (gas pressure chamber) 는 정확한 압력 제어를 허용합니다. 또한 고급 마이크로프로세서 방식 시스템 (microprocessor-driven system) 과 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 는 광범위한 애플리케이션 및 프로세스 유형에 걸쳐 모델의 정확성과 반복성을 높입니다.