판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #293621163

KARL SUSS/MICROTEC MA 56은 마이크로 전자 제품의 제작에서 광석기에 사용되는 매우 정확한 마스크 정렬 자입니다. 이 정렬기는 수동 (manual) 및 자동 (automatic) 프로덕션 시나리오에 모두 사용할 수 있으며, 사용자에게 뛰어난 정확성, 반복 가능성 및 유연성을 제공합니다. MICROTEC MA56은 고해상도 디지털 이미징 시스템을 사용하여 기판에 마스크를 정확하게 정렬하고 등록합니다. 이 시스템은 텔레센트리 (telecentric) 목표, 조절 가능한 필드 렌즈 및 내장 오정렬 검출기를 다양한 조명원과 결합하여 매번 정확한 정렬 결과를 제공합니다. 자동 웨이퍼 처리 시스템을 사용하면 기판을 빠르게 변경하고 처리량을 높일 수 있습니다. KARL SUSS MA-56에는 벡터 스캔, 톱니 스캔 및 오버레이 보정을 포함한 여러 작동 모드가 있습니다. 벡터 스캔 (Vector scan) 모드를 사용하면 패턴을 정확하고 빠르게 정렬할 수 있으며, 톱니 모양의 스캔 (serrated scan) 모드를 사용하면 반복 다이 크기에 맞게 단계적으로 정렬할 수 있습니다. 오버레이 교정 (overlay correction) 모드에서 마스크 정렬 (mask aligner) 은 마스크 형상의 오류를 자동으로 보정하여 오정을 줄일 수 있습니다. KARL SUSS/MICROTEC MA-56 마스크 정렬 자의 해상도는 4.5 미크론이고 원형은 직경이 최대 115mm입니다. 2 x 2 mm ~ 200 x 200 mm의 다이 사이즈 범위를 제공하며 최대 정렬 속도는 1,000 um/sec입니다. 이 정렬자는 직관적인 사용자 인터페이스를 통합하여 매우 쉽게 사용할 수 있으며, 자동 초점 (auto focus), 자동 모서리 감지 (auto edge detection), 다이 자동 배율 (die auto magnification), 가변 정렬 에너지 설정 등 여러 가지 추가 기능을 제공합니다. KARL SUSS/MICROTEC MA56은 생산 및 연구 응용을위한 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 마스크 정렬 자입니다. 탁월한 성능, 반복성, 유연성을 제공하여 사용자는 마이크로일렉트로닉 제조 (microelectronic manufacturing) 요구 사항에 대해 일관된 결과를 얻을 수 있습니다.