판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 / MJB55 #9136941

KARL SUSS/MICROTEC MA 56/MJB55는 마이크로 부품의 정확한 패턴화 및 정렬을 위해 특별히 설계된 마스크 정렬 장비입니다. MA 56은 기판을 정확하게 제어 된 진공 호환 척 (chuck) 에 보관하고 MJB55는 모든 마이크로 정렬 및 위치 지정 기능을 수행하는 2 단계 정렬 및 x-y-z 위치 시스템입니다. 그것들은 함께, 고급 마이크로 일렉트로닉 칩 제작에 사용되는 마스킹 및 포토 리토 그래피 (photolithography) 단계에 대해 매우 높은 정확도와 반복 가능한 결과를 제공합니다. MA 56은 평평한 기판 정렬 및 패턴화를 위해 고정밀 단계를 사용하며 X, Y 및 Z 방향으로 0.1 미크론 (100 나노 미터) 범위의 정확도를 제공 할 수 있습니다. 스테이지의 이동 범위는 400 x 400mm (15.7 "x15.7") 이며 정확도는 +/-2um (0.08 ") 입니다. 헤드는 uniaxal 기울기 각도 단계, 정확한 +/-10 호 초 및 360도 연속 회전 단계에 장착됩니다. MJB 55는 6축의 동작 (x-y-z, -x, -y 및 -z) 을 갖는 스테이지 제어 마스크 정렬 기입니다. 이동 범위는 70 x 70mm (2.75 "x2.75") 이며 위치 정확도는 +/- 2um (0.08 ") 이며 최대 2 deg/s 회전 속도가 가능합니다. 또한 3K 속도 스캔이 가능한 c이며 서브 미크론 정확도에 적합합니다. MA 56 및 MJB 55는 4 "x 4" 에서 최대 12 "x 12" 까지의 다양한 마스크 크기를 처리 할 수 있으며 표준 사진 이미징 플레이트 및 기판과 호환됩니다. 기계는 또한 기판 병렬화를 보장하는 자동 간격 감지 (automatic gap detection), 자체 정렬 단계 및 반복 루틴 (repeat routine) 을 포함하여 높은 정확도를 보장하는 다양한 기능을 가지고 있습니다. MICROTEC MA 56/MJB55는 고급 IC 제작에 필요한 모든 마스킹 및 사진 촬영 단계를 수행하는 데 이상적인 도구입니다. 이 제품은 정확하고 반복 가능한 결과물을 제공하며, 다양한 기능과 기능을 제공하므로 소형 (micro) 부품의 고밀도 (high-precision) 패턴화 및 정렬을 찾는 칩 제조업체에게는 없어서는 안 될 도구입니다.