판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 45 #9221606

KARL SUSS/MICROTEC MA 45 (KARL SUSS/MICROTEC MA 45) 는 마스크 상의 패턴 배열과 기판의 서피스 피쳐 사이의 높은 정밀 정렬을 제공하는 정교한 마스크 정렬기입니다. 그것 은 기계 "센서 '와 광학" 센서' 의 조합 을 사용 하여 "패턴 '과 기판 사이 에 정확 히 맞도록 하는 접촉기 이다. MICROTEC MA 45는 자동 교정을 사용하여 작업 선택 및 정렬 프로세스를 단순화하여 처리량을 크게 늘리고 설치 시간을 단축합니다. KARL SUSS MA-45는 기계 하우징과 카메라 어셈블리, 진공 척 장착 웨이퍼 스테이지로 구성됩니다. 장비는 4 개의 정렬 비전 시스템으로 구성됩니다. 2 개는 거친 정렬을 위해, 2 개는 미세 정렬을 위해 구성됩니다. 단일 빔 스캔 장치 (single-beam scanning unit) 는 패턴 및 웨이퍼 서피스에서 이미지 데이터를 캡처하는 데 사용됩니다. 이 데이터는 소프트웨어에서 처리되어 정렬을 위한 매개변수 (parameter) 를 생성하며, 시스템에서 최대 2 미크론의 정밀도 (registration accuracies) 를 달성할 수 있습니다. KARL SUSS MA 45는 웨이퍼 기판의 포괄적인 액세스 및 적용 범위를 제공하기 위해 여러 노출 기능으로 설계되었습니다. 다양한 패턴과 기능을 사용하기 위해 여러 가지 유형의 투영 광학 (Projection Optic) 이 장착되어 있습니다. 또한 여러 소스 홀더 (source holder) 를 장착하여 다양한 마스크 형식을 처리 할 수 있습니다. 이 장치는 인체 공학적 (ergonomic) 설계를 통해 운영자가 모든 작업을 관리하고 단일 콘솔에서 프로세스 데이터를 확인할 수 있습니다. Linux 기반 운영 체제에 의해 제어되며, SUSS MICROTEC 소프트웨어 도구와 상호 작용하여 엔지니어가 작업을 저장하고, 노출 결과를 모니터링하고, 필요에 따라 매개변수를 조정할 수 있습니다. 또한 KARL SUSS/MICROTEC MA-45 는 다양한 장비와 통합될 수 있으며, 자동화된 재료 및 자원 처리 시스템과 호환됩니다. 따라서 효율적 자동화를 위한 완벽한 운영 시스템 (운영 시스템) 을 만들 수 있고, 비용 효율적이고 안정적인 운영 작업을 수행할 수 있습니다.