판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 45 #9159265

KARL SUSS/MICROTEC MA 45 마스크 정렬기는 레이어 포토 마스크를 웨이퍼와 같은 기판에 정확하고 정확하게 정렬하거나 '노출' 하도록 설계된 특수 장비입니다. 정렬자 (aligner) 는 마스크의 각 분리된 마스크와 레이어를 표시하기 전에 먼저 전체 웨이퍼 (wafer) 를 스캔하고 자동으로 정렬하여 수행합니다. 자동화된 레이저 기반 스캐닝 (scanning) 시스템을 사용하는 경우, 마스크 재조정 없이 확장 실행 중에 정렬 정확도를 유지할 수 있습니다. 이를 통해 산업 응용 프로그램 및 연구/개발 프로세스에 적합합니다. MICROTEC MA 45 마스크 정렬 자는 기판 (일반적으로 웨이퍼) 과 photomasks가 배치 된 '보드' 를 보유하는 스테이지로 구성됩니다. "얼라이너 '의 광학 기계 는" 마스크' 와 기판 위 에 장착 된다. 각 레이어 또는 마스크를 표시하려면 이 광학 도구는 마스크를 웨이퍼 위에 정확하게 정렬합니다. 정렬은 일반적으로 약 1 마이크로미터의 정확도로 수행됩니다. KARL SUSS MA-45 마스크 정렬기는 마스크의 각 레이어를 노출시키기 위해 밝은 UV 광원 소스를 사용합니다. 광원은 photomask를 통해 투영 된 다음 웨이퍼에 투영됩니다. 그 후 개발자가 적용됩니다. 개발자는 자외선 (UV Light) 에 노출된 웨이퍼 (Wafer) 의 영역에서 원치 않는 포토레시스트 재료를 제거하는 데 사용되며, 이미지 또는 패턴을 원하는 상태로 둡니다. 마스크 정렬자 (Mask Aligner) 의 에셋은 특정 응용 프로그램에 대해 개별적으로 구성할 수 있는 여러 개의 모듈로 구성됩니다. 이 모듈은 스테퍼 모터 제어, 레이저 스포팅, 이미징, 광학 정렬 및 웨이퍼 고정 기능을 제공합니다. 마스크는 일괄 처리 모드 (batch mode) 또는 한 번에 하나의 웨이퍼 (wafer) 로 노출될 수 있습니다. 정렬기의 광학 투영 모델은 원격 중심 목표 (telecentric objective) 및 디지털 이미지 분석 장치 (digital image analysis unit) 로 구성됩니다. 그 현미경 에는 또한 "다이오드 '배열 과" CCD 카메라' 와 "인터페이스 '를 포함 하여" 마스크' 영상 을 캡처 할 수 있다. MA-45 마스크 정렬기 (MA-45 mask aligner) 는 레이어가 있는 포토마스크를 웨이퍼에 정렬하고 노출시키는 매우 정밀한 장비입니다. 자동 정렬 역학 (Automated Alignment Mechanics) 과 조명 광학 시스템 (Illuminated Optical System) 을 통해 여러 마스크를 한 번에 정확하고 효율적으로 정렬할 수 있으므로 산업 및 연구 환경에 적합합니다. 이 장치의 모듈 식 디자인은 다양한 응용 프로그램에 적응할 수 있습니다.