판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 45 #293748730

KARL SUSS/MICROTEC MA 45는 집적 회로 제조에 널리 사용되는 정밀 마스크 정렬 자입니다. MICROTEC MA 45는 매우 정확한 6 축 마이크로 포지셔너, 광학 장비 및 광원으로 구성됩니다. 이 구성 요소 조합은 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 에 포토리스 패턴 (photoresist pattern) 을 정확하게 정렬하고 노출시키는 데 사용됩니다. 6 축 마이크로 포지셔너는 KARL SUSS MA-45의 심장입니다. 이것은 3 개의 선형 방향과 3 개의 각도 방향으로 움직일 수있는 플랫폼으로 구성됩니다. 마이크로포지셔너는 정밀 조작 모터와 각 축에 대해 분리된 단계에 의해 구동됩니다. 이를 통해 나노 미터 수준까지 포토리스 (photoresist) 패턴을 매우 정확하게 노출하고 정렬 할 수 있습니다. KARL SUSS MA 45의 광학 시스템은 렌즈, 거울 및 필터의 조합을 사용하여 실리콘 웨이퍼에 포토 esist 패턴을 정확하게 정렬하고 노출시킵니다. 특수 조명 소스 (lighting source) 는 정확성과 노출 일관성을 보장하기 위해 사용됩니다. 파퍼 (wafer) 표면에 포토레지스트 패턴의 확대 투영을 제공합니다. 모델 및 유닛 구성에 따라, MICROTEC MA-45의 광학 기계는 단일 노출 과정에서 양수 (positive) 및 음수 (negative) 광 마스크의 투영 노출이 가능합니다. MA 45를 사용하면 photoresist 패턴의 노출 및 정렬을 세 가지 다른 모드에서 수행 할 수 있습니다. 수동 (Manual) 모드에서는 마스크 정렬기를 완전히 제어할 수 있으며 반자동 (semi-automated) 모드에서는 작업자가 노출 시간, 노출 영역, 치수 등의 특정 매개변수를 지정할 수 있습니다. 자동화 모드는 사전 프로그래밍된 매개변수에 따라 프로세스를 완전히 자동화하는 데 사용할 수 있습니다. MA-45는 현대 실리콘 웨이퍼 제조 공정을위한 귀중한 디지털 석판화 도구입니다. 그것 은 매우 정확 하고, 효율적 이며, 사용 하기 쉽기 때문 에, 반도체 산업 에 종사자 들 에게 인기 있는 선택 이다. 이 "마스크 '정렬자 는 가장 정밀도 와 일관성 이 높은" 웨이퍼' 표면 에 크고 복잡 한 "패턴 '을 노출 시킬 수 있다.