판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 4 #9279272

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ID: 9279272
Mask aligner.
KARL SUSS/MICROTEC MA 4는 기판에 패턴을 정확하게 배치하는 데 사용할 수있는 정밀하고 고성능 마스크 정렬기입니다. 정렬기는 마이크로 전자 부품의 고효율 접촉 정렬을 위해 특별히 설계되었습니다. Micro- 및 Optoelectronic 장치 프로세스 응용 프로그램에 대해 양성 및 음성 광 주의자 및 UV 민감성 재료를 모두 패턴화 할 수 있습니다. MICROTEC MA 4 aligner는 패턴 모션 시스템을 갖춘 컴퓨터 제어, 전동, 수동 정렬 현미경을 기반으로합니다. 이 "시스템 '은 현미경 의" 패턴' 을 정확 하게 수동 으로 정렬 할 수 있게 해 준다. 진공을 사용하여 패턴 및 광학 디플렉터를 사용하여 개체 평면에서 CCD 유형 카메라로의 이미지 정렬 점 (image alignment point) 을 보호합니다. 이 "카메라 '의 해상도 는 1.0" 미크론' 이며 서로 다른 "패턴 '과 기판 크기 를 수용 할 수 있도록 확대 와 축소 할 수 있다. KARL SUSS MA-4 정렬기에는 스마트 포지셔너, X-Y 스테이지 및 스테퍼 모터가 장착되어 있습니다. 스마트 포지셔너는 정확한 부품 정렬을 보장하는 컴퓨터 제어 로봇 암입니다. X-Y 단계를 사용하면 기판을 두 축으로 이동하여 패턴을 정확하게 정렬할 수 있습니다. 스테퍼 모터 (stepper motor) 는 기판이 왜곡되지 않고 카메라에 정확하게 이미지화되어 있는지 확인합니다. KARL SUSS/MICROTEC MA-4 정렬 자에는 통합 조명 시스템, 반사 방지 코팅 및 자동 초점 제어가 있습니다. 또한 보다 효율적인 생산을 위해 자동 설정을 허용하는 프로그래밍 가능한 패턴 마스크 루틴 (pattern mask routine) 이 있습니다. 정렬 (aligner) 에는 정렬 프로세스의 정확성을 보장하는 데 사용되는 보정 (calibration) 프로그램이 있습니다. MA 4 정렬기는 매우 정확하며 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. PMMA, 드라이 필름, 폴리 이마이드 및 AZ 포토 esist와 호환됩니다. 높은 정확도와 감도로, 정렬 자는 가장자리를 0.5 µm까지 처리 할 수 있습니다. 동력 운동으로 인해 속도가 빠르며, 이는 더 빠른 생산 주기를 허용합니다. MICROTEC MA-4 (MICROTEC MA-4) 는 신뢰할 수 있고 강력한 마스크 정렬 기이며, 광범위한 마이크로 전자 생산에 적합합니다.
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