판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 4 #9117094
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ID: 9117094
웨이퍼 크기: 4"
Mask aligner, 4"
Topside
BSA, 3"
Hard / Soft contact modes
Micron resolution
Split field video optics
Requires 115V, house nitrogen or CDA, house vacuum
Power supply: 350 Watt.
KARL SUSS/MICROTEC MA 4는 광범위한 산업 및 상업 응용 분야에서 정밀 마이크로 정렬 및 결합 작업을 위해 설계된 마스크 정렬기입니다. 광원 (light) 을 사용하여 정렬 편광 마스크를 대상 기판에 정확하게 배치하여 극도로 정확하고 정밀하게 대규모 정렬 및 결합 연산 (bonding operation) 을 수행할 수 있습니다. 마이크로 텍 MA 4 (MICROTEC MA 4) 는 고급 직교 정렬 플랫폼을 사용하여 서로 상대적인 마스크와 기판을 빠르고 정확하게 배치하고, 기판을 200x200x200 mm까지 정렬하고 결합 할 수 있습니다. KARL SUSS MA-4 는 직관적인 운영자 인터페이스 (Operator Interface) 에 의해 구동되며, 사용자는 일관된 정확도와 정확도를 유지하면서 Aligner 의 성능을 모니터링하고 제어할 수 있습니다. KARL SUSS/MICROTEC MA-4 의 정렬 플랫폼에는 독점 ED-Grid Technology 가 포함되어 있어, 사용자가 정렬 매개변수와 정렬 지점 수를 빠르게 조정할 수 있습니다. 또한 이 기술을 사용하면 기판에 대한 사용자 정의 대상 값 (custom target value) 을 설정할 수 있으므로 미세 정렬 (fine alignment) 을 매우 정확하게 설정할 수 있습니다. KARL SUSS MA 4는 금속, 강성 플라스틱, 오팔 및 다공성 재료를 포함한 다양한 고급 재료를 정렬하도록 설계되었습니다. MA 4는 기판 유형에 관계없이 정확하고 반복 가능한 정렬 패턴을 보장하는 고급 "레이저 보조 패턴 인식 (laser-assisted pattern recognition)" 시스템을 갖추고 있습니다. 또한, MICROTEC MA-4는 더 높은 처리량 결합 작업에 맞게 조정되어 있으며, 사용자는 특정 생산 요구에 따라 최대 4 개의 결합 된 마스크 위치를 프로그래밍 한 다음 미세 조정 매개변수를 프로그래밍 할 수 있습니다. MA-4는 또한 특허를받은 "현장 내 (in-situ)" 보호 시스템을 장착하여 정확하고 반복 가능한 결과를 보장합니다. KARL SUSS/MICROTEC MA 4는 클린 룸 호환 작동을 갖춘 인체 공학적 설계를 가지고 있으며, 기판 및 마스크의 정밀한 정렬을 위해 압력 발 (옵션) 및 자동 중심 링 (ring) 을 제공합니다. MICROTEC MA 4 (MICROTEC MA 4) 는 상용 및 산업 응용 프로그램 모두에서 일관되고 정확한 정렬 및 결합 작업을 제공하는 고급 마스크 정렬 기입니다. 고급 ED-Grid Technology 및 레이저 지원 패턴 인식 기능을 통해 KARL SUSS MA-4 는 기판을 빠르고 정확하게 정렬하여 보다 빠르고 높은 처리량을 제공합니다. KARL SUSS/MICROTEC MA-4는 또한 정확한 정렬을위한 인체 공학 작동, 압력발 (옵션) 및 자동 중심 링, 신뢰할 수있는 결과를 제공하는 현장 보호 시스템을 제공합니다.
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