판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 4 #293705062
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ID: 293705062
웨이퍼 크기: 4"
빈티지: 1991
Mask aligner, 4"
Mask holder: 5" x 5"
CIC 1200 Lamp power supply
Ignition box
1991 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA 4는 넓은 작업 영역과 4 "초점 레이저 중심 노출이있는 고정밀 마스크 정렬 자입니다. 다목적 리소그래피 시스템으로서 광석판 촬영 (photolithography) 과 컨택트 마스킹 (contact masking), 고속 정렬 (high-speed alignment) 및 이미징 (imaging) 을 수행할 수 있다. MICROTEC MA 4에는 별도의 고온 오븐이 장착되어 전자 빔 저항의 정확한 코팅 및 치료가 가능합니다. KARL SUSS MA-4는 15 미크론의 위치 해상도와 3 미크론의 이미지 오버레이 정확도로 포토 마스크 및 웨이퍼 정렬에 대한 높은 정확도를 제공합니다. 이미징 기능에는 최대 7.5 "제곱의 필드 크기를 가진 4" 포토 마스크 및 웨이퍼가 포함되어 있으며, 파장 365nm에서 최대 50mW/cm2의 빛을 노출시킵니다. 고대비 해상도 비주얼을 위해 8 레벨 회색 스케일 정렬이 가능합니다. MICROTEC MA-4는 최첨단 레이저 기술과 정밀 정렬 및 이미징을위한 알고리즘을 통합했습니다. 첨단 비전 (Advanced Vision) 기술을 통해 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있으며, 사용자 친화적인 웹 인터페이스를 통해 이미징 프로세스를 제어할 수 있습니다. MA 4는 또한 최적의 조명을 보장하기 위해 독점적 인 빔 쉐이핑 옵틱을 장착 할 수 있습니다. KARL SUSS/MICROTEC MA-4는 장기적인 신뢰성을 위해 설계되었으며, 반도체 및 인쇄 회로 기판 (PCB) 업계에서 최고 수준의 신뢰성과 성능을 제공합니다. 이 시스템은 자동화된 안전 및 유지 관리 (Safety and Maintenance) 기능과 온도 및 습도 조절을 통해 일관된 이미징 성능을 보장합니다. 또한, 이 장치에는 보드, 마스크, 웨이퍼를 쉽게 식별할 수있는 고급 패턴 인식 (pattern recognition) 소프트웨어가 장착되어 있습니다. KARL SUSS MA 4는 정확하고, 안정적이며, 반복 가능한 이미징 성능을 고객에게 제공하는 고급 마스크 정렬기입니다. 대형 "이미지 '면적 과 4" 인치' 의 "레이저 '노출 능력 을 지닌 이 장치 는 광범위 한 산업 을 위한 다목적 이고 매우 정밀 한 영상" 시스템' 이다.
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