판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 4/6 #9249041

KARL SUSS/MICROTEC MA 4/6은 웨이퍼에 패턴을 만들기 위해 리소그래피 마스크를 photoresist-covered 웨이퍼에 정렬하는 데 사용되는 마스크 정렬 자입니다. MICROTEC MA 4/6은 특히 집적 회로 (IC) 의 대용량 제조를 신뢰할 수 있고, 정확하며, 재현 가능하도록 설계되었습니다. 이 장비는 고정밀 및 자동 정렬 기술을 사용하여 IC 패턴화를 위해 마스크를 정확하게 조작하고 배치합니다. KARL SUSS MA 4/6 마스크 정렬 자에는 웨이퍼 테이블, 마스크 테이블, 한 쌍의 광학 인코더, 비전 및 검사 시스템 및 제어 장치의 5 가지 주요 구성 요소가 있습니다. 웨이퍼 테이블 (wafer table) 은 웨이퍼를 고정하도록 설계되었으며 공압 구동 진공 컵을 장착하여 웨이퍼를 확보하고 X, Y 및 Z 축에서 기동 할 수 있습니다. 마스크 테이블은 마스크를 보관하도록 설계되었으며, 통합, 자동 마스크 로더가 포함되어 있습니다. 광학 인코더는 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 의 이동과 정렬을 정확하게 측정하는 데 도움이 됩니다. 시력 과 검사 장치 는 "마스크 '와" 웨이퍼' 의 무결성 을 유지 하고 "패터닝 '을 제대로 수행 하도록 한다. 마지막으로, 제어 장치 (Control Unit) 는 하드웨어 및 소프트웨어를 제공하여 정확한 위치에 대한 웨이퍼 및 마스크 테이블을 지시합니다. MA 4/6 마스크 정렬기는 최대 10 마이크로 미터 (äm) 의 교정 정렬 정확도를 특징으로하여 나노 미터 스케일 정밀도에 적합합니다. 또한, 정렬 정밀도는 최적의 정렬을 위해 3 점 보정 기계로 조정됩니다. 이 3 점 보정 도구는 마스크를 참조하는 데 사용되는 웨이퍼의 영구 표시인 3 개의 fiducial 마크를 사용하여 X 및 Y 축에 독립적 인 정렬을 제공합니다. 또한, 에셋은 통합 웨이퍼 검사 모델을 특징으로하며, 노출 전/후 웨이퍼를 검사합니다. 이 검사는 제어 장치 (Control Unit) 의 화면에 표시되어, 재생성 가능한 정확도를 확인할 수 있는 다양한 매개변수에 대한 액세스를 제공합니다. 또한 KARL SUSS MA 4/6 마스크 정렬기는 직관적이고 아이콘 중심의 직관적인 사용자 인터페이스를 특징으로하며, 이는 처음 사용자에 대해서도 사용자 작업 및 설정을 단순화합니다. IC 레이아웃에서 웨이퍼로 패턴을 전송하는 데 사용되는 CAD (Computer-Aided Design) 인터페이스도 있습니다. 이 프로그램은 또한 사용자 정의 및 프로그래밍 가능하며, 사용자 사양에 따라 맞춤식 작동이 가능합니다. MA 4/6 마스크 정렬기의 다른 기능으로는 고급 이미지 처리, 낮은 실행 비용, 낮은 공간 요구 사항 등이 있습니다. 이 마스크 정렬기 (Mask Aligner) 는 소규모 및 대규모 생산 실행에 적합하며, IC의 대용량 생산이 정확하고, 안정적이며, 재현이 가능하도록 설계되었습니다. 직관적인 사용자 인터페이스, 프로그래밍된 기능, 정교한 정렬 정확성을 통해 KARL SUSS/MICROTEC MA 4/6 마스크 정렬기를 안정적으로 사용할 수 있으며, 심지어 최초 사용자도 사용할 수 있습니다.