판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA-300+ #156834
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판매
ID: 156834
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
Mask aligner, 12"
De-installed by OEM
Packed/Crated and storaged in warehouse
2004 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA-300 + 은 반도체 장치 제조를 위해 사진 분석에 사용되는 고급 마스크 정렬 자입니다. 이 정렬기는 기판에 대한 photomask의 고해상도 정렬을 위한 정밀 광학을 특징으로합니다. MICROTEC MA-300 + 에는 자동 비전 기반 정렬 장비가 장착되어 있어, 최대 정렬 정확성과 풀 필드 웨이퍼 커버리지 (full-field wafer coverage) 를 보장합니다. KARL SUSS MA-300 + 마스크 정렬 장치에는 자동 스테이지 모션 시스템, 광학 장치 및 마스크 클램핑 머신이 장착되어 있습니다. 자동 단계 동작 도구 (automated stage motion tool) 는 리소그래피 프로세스의 품질을 최적화하는 반면, 광학 자산은 직접 이미징 및 정렬을 허용합니다. 클램핑 (clamping) 모델은 마스크를 안전하게 고정하고, 정렬 과정에서 위치의 안정성을 유지합니다. MA-300 + 리소그래피 (lithography) 장비는 고급 컴퓨터 제어 노출 프레임워크를 활용하여 정확성과 효율성을 극대화합니다. 이 시스템은 1.5, 5 및 10 미크론 마스크 정렬 케이스와 더 큰 형식 마스크를 처리 할 수 있습니다. 이 장치에는 조정 가능한 조리개 및 스테이지 높이 조정과 개선 된 필드 플랫 팅 머신 (flattening machine) 이 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 모든 "웨이퍼 '가 균일 하고 고품질 의 빛 에 노출 되어 최고 수준 의" 이미지' 품질 과 정확도 를 유지 할 수 있다. KARL SUSS/MICROTEC MA-300 + aligner는 자동 센서 교정뿐만 아니라 자외선, 깊은 자외선 및 장파 조명 소스를위한 통합 필터 도구를 갖추고 있습니다. 또한 패턴 분석이 리소그래피 프로세스의 정밀도를 최적화 할 수 있습니다. MICROTEC MA-300 + 은 조절 가능한 전원 공급 장치가 장착 된 냉각 수직 쿼츠 할로겐 램프를 사용하여 구동됩니다. KARL SUSS MA-300 + 은 또한 리소그래피 프로세스 동안 스프링로드 된 LEPT 컨테이너에서 포토 esist에 대한 유체 제거 및 보충을 최적화하는 자동 유체 관리 자산을 갖추고 있습니다. MA-300 + 마스크 정렬기는 설치 공간이 작아 빈 공간에 사용할 수 있습니다. 설치, 운영이 용이하여 숙련된 사용자와 초보자 (novice user) 모두에 적합합니다. 또한 최고 품질의 웨이퍼를 보장하기 위해 고해상도 이미징을 제공합니다. KARL SUSS/MICROTEC MA-300 + 은 안정적이고 효율적인 마스크 정렬 장치로, 반도체 장치 제작자들 사이에서 인기있는 선택입니다.
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