판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 24 #9382957

KARL SUSS/MICROTEC MA 24는 반도체 제조 프로세스에 사용되는 고급 마스크 정렬 자입니다. 이 도구는 EBR (Electrically Blanked Resistor) 및 레이저 광을 사용하여 리소그래픽 패턴을 마스크 및/또는 웨이퍼에 각인하는 데 사용할 수 있습니다. 기계에는 알루미늄 진공 척 (aluminum vacuum chuck) 과 함께 마스크를 회전시키는 데 사용되는 높은 정밀 2 축 좌표 테이블이 있습니다. 이 테이블은 최대 400rpm 속도에 도달하고 최대 5 미크론까지 반복 할 수 있습니다. 또한 고성능 레이저 빔 스플리터 (Laser Beam Splitter) 를 통해 정렬 프로세스의 정확도를 높일 수 있으며, 단계 크기를 1.5 미크론 (Micron) 까지 조정할 수 있습니다. MICROTEC MA 24의 정렬 과정은 매우 자동화되어 있습니다. "레이저 '는" 마스크' 의 위치 를 탐지 하는 데 사용 되며, 정렬 정확도 는 두 개 의 광학 "센서 '로 얻어진다. 그 결과 "마스크 '와" 웨이퍼' 의 정렬 이 매우 정확 해진다. 레이저 표시 검출은 한 프로세스에서 여러 레이어를 정렬하는 데에도 사용됩니다. 기계 는 매우 정밀 한 도구 이기 때문 에, 다른 비슷 한 "타이너 '들 보다 인간 의 감독 이 덜 요구 되므로, 시간 과 돈 의 면 에서 훨씬 더 효율적 이다. 게다가, 그것 은 어떤 "오존 '도 생산 하지 않으므로 안전 하게 사용 할 수 있다. KARL SUSS MA 24에는 리소그래피 작업과 연결 할 수있는 호스트 컴퓨터가 있습니다. 또한 사용자에게 정렬에 대한 종합적인 데이터 보고서 (data report of the alignment) 를 제공하여 보다 효율적으로 작업을 제어할 수 있습니다. 결론적으로, MA 24는 매우 정확하고 효율적인 고급 마스크 정렬 자입니다. 높은 정확도, 최소한의 인적 감독, 안전한 운영, 포괄적인 데이터 보고서 등 다양한 기능을 제공합니다. 반도체 제작 (예: 전자산업에 사용되는 제품) 에 적합한 선택이다.