판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 24 #9246069

KARL SUSS/MICROTEC MA 24는 MICROTEC Company 및 KARL SUSS의 고급 자동 마스크 정렬 자입니다. 이 기계는 반도체 산업의 사진 분석 프로세스에 사용됩니다. 광 정렬을 사용하여 다양한 응용 프로그램의 마스크와 웨이퍼를 정확하게 배치합니다. MICROTEC MA 24는 위치 정확도 1.2äm, 자동 XYW 마스크 전송 기능 및 정확한 UV 기반 레이저 리소그래피를 갖춘 현장 내 스테퍼를 제공하여 마이크로 구조화 된 반도체 장치를 생산하는 데 이상적입니다. 이 기계에는 이미지 분석, 컴퓨터 지원 웨이퍼 표면 인식, 데이터 분석, 실시간 웨이퍼 위치 피드백, 프로세스 모니터링 및 제어 등 다양한 고급 기능이 장착 될 수 있습니다. KARL SUSS MA 24는 기존 및 고급 디지털 옵티컬 센서를 모두 사용하여 효율성이 높으며, 최대 3 개의 독립 카메라 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 고급 조명 창, 컬러 보정기 및 감마 설정이있는 비전 장비가 내장되어 있습니다. 이 시스템에는 공기 필터 장치 (air filter unit) 와 진공 보호 렌즈 머신 (vacuum-protected lens machine) 이 있어 모든 광학 부품이 항상 서비스를 제공할 수 있습니다. MA 24는 웨이퍼의 순차 배치 및 패턴화를 위해 세 가지 다른 노출 모드 (단일, 이중, 쿼드) 를 지원합니다. 또한 15nm 크기의 미세 구조 생산을위한 고해상도 UV 레이저 석판화 (UV laser lithography) 를 제공합니다. 이 도구는 정렬 프로세스의 무제한 단계를 제공하는 15äm 해상도로 작동합니다. KARL SUSS/MICROTEC MA 24는 또한 높은 수준의 자산 유연성을 제공합니다. 여기에는 가열 된 스테이지 플레이트가 포함되어 있으며 최대 9 개의 마스크 평면 각도 설정을 허용합니다. 또한, 이 장치에는 오버레이 제어 측정, 주기 시간 감소, 음수 패턴화 모드 등의 특수 옵션도 포함되어 있습니다. 또한 MICROTEC MA 24에는 자동화 모델이 있습니다. 여기에는 웨이퍼와 마스크를 컴퓨터에 로드/언로드할 수 있는 소프트웨어, 타이머, 로봇 암이 포함됩니다. 이 기계에는 또한 다른 웨이퍼, 마스크, 노출 평면 사이를 빠르게 전환 할 수있는 자동 스테이션 선택기 (auto station selector) 가 있습니다. KARL SUSS MA 24 Mask Aligner는 탁월한 정밀도로 정교한 마이크로 구조를 생산하기에 적합한 고급 및 사용자 친화적 인 장비입니다. 최신 기술과 기능을 통해 뛰어난 성능을 보장합니다. 다양한 기능을 갖춘 고품질 반도체 (반도체) 장치를 생산할 수 있는 완벽한 도구입니다.