판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9395433

KARL SUSS/MICROTEC MA 200은 서브 미크론 범위의 기판의 질적 정렬 및 사진 해설에 사용되는 전장 투영 정렬기입니다. 이 장비는 다양한 재료, 기판, 용량, 기능 크기로 작업하기에 적합하며, 다양한 연구, 개발, 생산 응용 프로그램에 적합합니다. MICROTEC MA200은 와이드 필드 이미징 광학 및 필드 균일성을 사용하여 각 기판을 빠르고 정확하게 정렬하는 독특한 비 스캐너 정렬 시스템 (non-scanner alignment system) 을 갖추고 있습니다. 이를 통해 photomasking 및 etching 프로세스에 대한 기판을 정확하게 등록 할 수 있습니다. KARL SUSS MA-200 내의 고급 정렬 장치 (High-End Alignment Unit) 는 마스크의 디지털 이미징 및 정밀한 선형 및 회전 제어를 사용하여 photomask와 기판을 정확하게 정렬합니다. 이 기계는 최적의 오버레이 매칭을 용이하게하도록 최적화되었습니다. 이는 마이크로 일렉트로닉스 (microelectronics) 및 MEMS (MEMS) 에서 볼 수있는 작고 복잡한 디자인의 정렬에 중요합니다. KARL SUSS MA 200의 기능 크기는 최소이며, 0.2 mrad 정도의 작은 각도에서 정확한 정렬이 가능합니다. 이 기능 크기는 많은 상용 정렬기에서 발견되지만, MA200 은 매우 작은 기능을 정확하고 정확하게 정렬 할 수 있는 기능에서 특히 유리합니다. KARL SUSS MA200은 자동화되어 멀티웨어 부품 (Multi-Wear Part) 및 사용자 교체 가능 Optic과 함께 제공되며, 최고 수준의 표준을 유지하면서 운영 비용을 절감할 수 있습니다. 자동 전송 웨이퍼 처리 도구 (Automated Transport Wafer Handling Tool) 를 사용하여 기판 및 마스크를 빠르게 로드하여 사진 해설에 필요한 시간을 줄일 수 있습니다. 자동화된 유지 관리 자산 (Automated Maintenance Asset) 은 모든 구성요소의 성능을 최적화하여 수작업 유지 관리의 필요성을 줄여줍니다. MA-200은 중요한 기능을 정확하고 정확하게 정렬할 수 있는 최상위 기능을 제공합니다. 스캐너가 아닌 기술, 광대역 이미징 (광학), 민감한 디지털 이미징 및 제어 시스템 등을 활용하면 고품질의 마스크를 만들 수 있으며, 뛰어난 결과를 얻을 수 있습니다. 첨단 기술 (Advanced Technology) 과 신뢰할 수 있는 성능 (Performance) 을 결합하면 연구, 개발 및 생산 응용 프로그램에 적합한 선택이 가능합니다.