판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9394463

ID: 9394463
Mask aligner No BSA.
KARL SUSS/MICROTEC MA 200은 MEMS (microelectromechanical system) 장치의 제조에 사용되는 컴퓨터 화 된 마스크 정렬 자입니다. 사진 (Photolithography) 프로세스를 통해 패턴이 정확히 형성되는 샘플 서피스 (Sample Surface) 를 사용하여 단일 마스크에 설계 패턴을 정확하게 정렬하는 데 사용됩니다. MICROTEC MA200은 두 가지 주요 구성 요소 (메인프레임 및 마스킹/정렬 스테이션) 로 구성됩니다. 메인프레임에는 모든 전자 제품, 모션 제어 시스템 및 4.3 인치 Ultra High Resolution LCD 모니터가 있습니다. 마스킹 및 정렬 스테이션에는 전기 중심 d30/80 줌 렌즈 시스템 및 + 0.7 미크론 정확도의 수평/수직 정렬 기능이있는 빠른 정렬 쿼드 현미경 (Quick-Align Quad Microscope) 과 같은 광학 구성 요소가 포함되어 있습니다. 또한 정렬 작업을 제어하는 "마법사" 인터페이스가 있습니다. KARL SUSS MA-200에는 MEMS 처리를 위해 안정적이고 효율적인 도구가 있습니다. 고가속도 및 최고 135 ½ m/sec의 고속 (고속) 을 사용하면 마스크를 빠르고 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 초점 조정 노브 (steped focus adjustment knob) 를 사용하여 빠르고 정밀한 광학 설정을 할 수 있습니다. 또한, Aligner에는 충돌 방지 센서, 안전 연동을위한 외부 연동 포트, 비상 정지 스위치 등 몇 가지 표준 안전 기능이 있습니다. KARL SUSS/MICROTEC MA200은 크기, 모양, 복잡성이 다양한 객체를 정확하게 정렬 할 수있는 신뢰할 수있는 포토 리토 그래피 시스템 포트폴리오입니다. 이 시스템은 탁월한 이미지 해상도를 제공하며, 뛰어난 초점 깊이를 보장하며, 향상된 해상도 (0.1 미크론 정확도) 를 제공합니다. 또한 여러 작업에 다중 헤드 (head) 를 제공하고 인체 공학적 (ergonomic) 설계를 통해 쉽게 작동할 수 있습니다. 또한, 정렬기는 자동 보정을 통해 처리 시간을 단축하고, 더 선명한 이미지를 위한 가변 강도 조명을 제공합니다. 전반적으로 KARL SUSS MA200은 MEMS 처리를 위해 매우 고급적이고 효율적인 도구입니다.
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