판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9391659
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KARL SUSS/MICROTEC MA 200은 집적 회로 및 관련 마이크로 일렉트로닉스 부품을 제조 및 처리하도록 설계된 정밀 마스크 정렬 자입니다. 반도체 소자에 대해 광학적으로 건조 저항층 (dry resist layer) 을 패턴화하는 데 주로 사용되며, 광범위한 칩 기능을 세밀하게 조정하여 성능을 극대화하는 다재다능한 도구입니다. MICROTEC MA200 (MICROTEC MA200) 은 컴팩트한 바디 (body) 와 안정적이고 안전한 작동을 보장하기 위해 필요한 강력한 안전 기능을 갖춘 완전 자동화 프로세스를 갖추고 있습니다. 이 장비에는 고급 PLC 컨트롤러가 제공되어 프로그램 실행, 자동 패턴 인식 (Automated Pattern Recognition) 및 정렬 (Aligner) 작업을 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한 노출 시간, 초점, 정렬 속도, 크기 등 원하는 매개변수의 수동/자동 입력이 모두 가능합니다. 이 시스템은 고급 옵틱으로 설계되었습니다. 광학 보드 (optics board) 에는 가변 출력 (power output) 이 포함 된 고급 할로겐 램프 (halogen lamp) 가 장착되어 저항층의 노출 균일성과 균일성을 보장합니다. 또한, 광학 보드에는 초점 제어가 장착되어 있어 정렬 프로세스를 세밀하게 조정할 수 있습니다. 마스크 정렬기 (Mask Aligner) 는 통합, 공랭식 정밀 스테퍼 모터로 추가로 설계되어 정렬 프로세스 전반에 걸쳐 일관된 움직임을 보장합니다. KARL SUSS MA-200은 또한 광범위한 기판, 펠리클 및 패턴을 수용하기 위해 넓은 작업 영역 (최대 5x5mm ~ 6x12mm) 을 가지고 있습니다. 내장 된 35mm 필름 어댑터를 사용하면 필름 네거티브 또는 필름 양성을 사용하여 필요에 따라 패턴을 전송할 수 있습니다. 패턴 크기와 정렬 (aligner) 의 속도와 해상도를 수동으로 조정할 수 있습니다. MA 200은 노출 과정에서 온도 균일성과 안정성을 보장하기 위해 온도가 제어되는 챔버를 내장하고 있습니다. 또한 노출 시간, 초점, 정렬 속도, 노출 영역 및 기타 매개 변수를 제어하여 최적의 작동을 보장하는 다단계 자동화 장치가 있습니다. 이 기계에는 입자 오염으로부터 보호하기 위해 내장 안전 실드 (Safety Shield) 도 제공됩니다. MICROTEC MA-200은 마이크로 일렉트로닉스 부품을 제조하는 과정에서 필수적인 도구입니다. 강력한 디자인과 고급 (Advanced) 기능을 통해 저항층 (Resist Layer) 을 완벽하게 정렬하여 높은 무결성 (Integrity) 구성 요소를 쉽게 만들 수 있습니다. 고품질 (High-Quality) 결과를 달성하기 위한 신뢰할 수 있는 솔루션으로, 비용 효율적이고 효율적인 방식으로 제공됩니다.
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