판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9381588

KARL SUSS/MICROTEC MA 200은 광전자, IC, MEM 및 박막 장치 제작에서 패턴 및 사진 해설을 만드는 데 사용되는 고정밀 마스크 정렬 자입니다. 접촉 구멍, 격리 요소, 비아 (vias), 심지어 큰 회로가 있는 장치를 정확하게 정렬 할 수있는 고해상도 스테퍼 스테이지가 특징입니다. MICROTEC MA200의 광학 장비는 조명 된 4 미크론 레티클과 빠른 스테핑 Galvo 스캐너를 사용하여 정밀 해상도 1 유로를 달성합니다. 광원은 빠른 노출 시간을위한 할로겐 램프 (halogen lamp) 이며 전체 기판에 걸친 짝수 조명장입니다. 수집 된 광원은 모노크로메이터 (Monochromator) 를 통해 경로설정되며, 이 모노크로메이터 (Monochromator) 는 주변 광원을 줄이고 샘플의 표면에 균일한 주파수를 보장합니다. KARL SUSS MA-200은 스테인리스 스틸로 지어진 견고한 주택과 15 ° C ~ 25 ° C의 실내 온도 범위와 10% ~ 80% 의 습도 범위를 가지고 있습니다. 또한 자동 웨이퍼 처리, 기판 접근을 돕는 동력 도어, 진공 밀봉 챔버 (vacuum-sealed chamber) 가 장착되어 있습니다. "얼라이너 '에는 또한 기판 과" 레티클' 사이 의 접촉 을 유지 하기 위해 압력 을 가하는 동안 "사이트 '의 높이 를 조정 할 수 있는 자동 초점 장치 가 들어 있다. 이렇게 하면 더 높은 수준의 정확도, 특히 작은 에치 (etched) 피쳐를 정렬할 때 더 쉽게 얻을 수 있습니다. KARL SUSS MA 200의 템플릿 지원 마스킹 기능을 사용하면 추가 도구 없이 다른 기판 또는 패턴 사이에서 더 빠르게 전환할 수 있습니다. 또한 제품 사이클 튜닝 (production cycle tuning) 을 지원하는 장치 기능의 어두움과 대비를 모니터링하는 통합 분광 반사 측정 장치 (spectroscopic reflectometry unit) 를 갖추고 있습니다. 내장형 통신 시스템에서는 이더넷, RS-232와 같은 표준 인터페이스를 사용하여 프로그래밍할 수 있습니다. MA200은 IC, 광전자, 박막 장치 및 MEM 생산에 적합한 매우 정확한 마스크 정렬기입니다. 고성능 옵틱과 자동 초점 도구는 기판과 레티클 사이의 완벽한 정렬을 보장합니다. 또한 템플릿 지원 마스킹, 통합 분광 반사 측정 및 통신 기능이 포함되어 있습니다. 이러한 모든 기능은 MICROTEC MA 200을 고정밀 장치 생산에 이상적인 옵션으로 만듭니다.