판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9381586

ID: 9381586
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1989
Mask aligner, 8" 1989 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA 200 Mask Aligner는 반도체 처리에 사용되는 정렬 및 리소그래피 장비입니다. 이 도구는 IC (Integrated Circuit) 장치 및 기타 전자 부품을 웨이퍼에 만드는 데 사용되는 고정밀도, 고해상도 도구입니다. MICROTEC MA200 은 표준 광 및 포지셔닝 시스템을 사용하여 장치 마스크를 웨이퍼에 정확하게 정렬합니다. KARL SUSS MA-200에서 사용하는 마스킹 기술은 표면 이미징 강화 섀도우 투사 (SIE-SP) 입니다. 이 기술 은 1 "마이크로 미터 '의 10 분 의 1 까지의" 마스크' 오버레이 정렬 의 높은 정확도 를 보장 해 준다. 매크로 입자 마스킹 필터는 다양한 광학 에너지를 가진 3D 마스크 디자인을 만듭니다. 또한 MPI (Micro-Particle Imaging) 기능은 마스크 설계에서 입자를 제거하는 데 도움이됩니다. 이 시스템의 자동 웨이퍼 정렬 장치 (automated wafer alignment unit) 는 0.25 미크론의 반복 가능성을 가진 0.5 미크론의 정확도를 허용합니다. 또한 내부 엔드 포인트 모니터링 머신 (internal end point monitoring machine) 을 사용하여 웨이퍼 프로세스의 끝점을 높은 정확도로 감지하고 분석 할 수 있습니다. MA200은 Silicon, Germanium, Gallium Arsenide 및 SOI (Silicon on Insulator) 를 포함하여 많은 유형의 재료를 패턴 할 수 있습니다. 이렇게 하면, 레이어를 간단히 추가하여 매우 복잡한 마스크를 쉽게 만들 수 있습니다. KARL SUSS/MICROTEC MA-200 (MA-200) 은 도입 이후 반도체 제작을위한 가장 인기있는 마스크 정렬기 중 하나가되었으며, 고급 기능과 결합된 단순성으로 인해 작고 복잡한 장치를 만드는 사람들에게 훌륭한 선택이되었습니다. MICROTEC MA 200은 또한 전력 소비량 및 열 안정성 측면에서 매우 효율적입니다. MA-200 (MA-200) 은 동급 최고의 정밀도 대 속도 비율을 제공하는 다용도 및 견고한 마스크 정렬 장치입니다. 이 제품은 의료 영상, 통신, 자동차 전자 제품 등 다양한 복잡한 응용프로그램을 위한 고품질 장치와 IC (IC) 를 생산하는 데 사용됩니다. 고급 기능의 조합과 장치 마스크를 웨이퍼에 정확하게 맞출 수있는 기능으로, KARL SUSS/MICROTEC MA200은 모든 반도체 처리 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다.
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