판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9373260

KARL SUSS/MICROTEC MA 200은 마스크 정렬 (Mask Aligner) 으로, 패턴을 반도체 기판 또는 광 마스크를 포함 할 수있는 원하는 표면에 정확하게 배치 한 다음 전달합니다. 마스크 정렬기 (Mask Aligner) 는 0.2 마이크로미터까지 피쳐를 정렬할 수 있으며, 경우에 따라 수백 마이크로 미터의 피쳐를 오버레이 및 정렬할 수 있습니다. 기계는 매우 정확하고 효율적이며, 기판에서 매우 구체적이고 반복 가능한 기능을 정렬 할 수 있습니다. 기계 자체는 XY 단계, 기판 및 마스크를 정렬하고 배치하는 데 사용되는 4 축 조작기, 최소 해상도 0.5 마이크로 미터의 밝은 필드 및 다크 필드 현미경 (dark field and dark field microscope) 으로 구성됩니다. 컴퓨터가 내장된 컴퓨터 시스템 (예: Alignment Point) 을 프로그래밍하고 시스템을 제어할 수 있습니다. 프로그래밍 가능한 정렬 기능은 매우 정확하며 원 대 원 (circle to circle), 직사각형 (rectangle to rectangle), 원 대 선 (circle to line) 과 같은 광범위한 정렬 작업을 허용합니다. 기계 에는 또한 "레이저 다이오드 '정렬 이 들어 있는데, 이것 은" 레이저' 를 사용 하여 "마스크 '와 기판 의 정확 한 정렬 을 위한 기준점 을" 레이저' 에게 제공 한다. MICROTEC MA200 사용자는 기판 및 마스크의 위치를 동시/자동/수동으로 4 축 모두를 제어할 수 있습니다. 또한 사용자는 기판 (substrate) 과 장치 (device) 에 따라 시스템 노출을 조정할 수 있습니다. 칼 수스 MA-200 (KARL SUSS MA-200) 은 반도체 산업에 광범위하게 사용되며, 패턴을 기판으로 빠르고 정확한 전달 방법을 제공합니다. "머신 '은 신속 하고 효율적 이므로, 그" 머신' 은 높은 수율 과 낮은 처리 시간 을 달성 할 수 있으며, 이체 의 정확도 와 정확도 는 여전 히 유지 할 수 있다. 또한, 레이저 다이오드 (laser diode) 정렬은 마스크 및 기판을 정렬 할 때 높은 정밀도를 가능하게하여 패턴 전달이 정확하고 반복 가능하도록 합니다.