판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9356073

KARL SUSS / MICROTEC MA 200
ID: 9356073
웨이퍼 크기: 6"-8"
빈티지: 1995
Mask aligner, 6"-8" 1995 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA 200은 다양한 photolithography 응용 프로그램을 처리하도록 설계된 정밀 마스크 정렬 자입니다. 정밀한 정렬로 고품질 이미지를 제작할 수 있습니다. MICROTEC MA200은 반도체 장치 제작, 고급 광전자 (optoelectronics) 및 MEMS 분야의 볼륨 생산, 프로토타입 작성 및 연구에 탁월한 선택입니다. KARL SUSS MA-200은 기판 척 (기판 척) 장비를 사용하여 기판과 원하는 마스크를 노출 단계에 고정시킵니다. 180mm x 120mm 정밀도 단계를 통해 둘 사이에 정확하고 반복 가능한 등록이 가능합니다. 이를 통해 미세 형상을 0.005 um까지 정확하게 정렬 할 수 있으며, 정확도는 0.5 um입니다. 152.4mm (6.0 인치) 의 최대 손쉬운 노출 영역은 간트리 전체에 사용 가능한 필드를 확장합니다. KARL SUSS/MICROTEC MA200은 신뢰성이 높은 솔리드 스테이트 제논 램프 (Xenon lamp) 를 사용하여 기판 위에 균일 한 빛의 필드를 제공합니다. 램프에는 다중 파장 노출 옵션을 만들기 위해 필터 휠이 장착되어 있습니다. 또한, 이 장치에는 셔터 컨트롤이 내장되어 있으므로 다양한 노출 에너지가 가능합니다. 또한, 독립적 인 산란 셔터 (spattering shutter) 는 사용자에게 노출에서 원하는 에너지 수준을 형성하는 옵션을 제공합니다. 온도 조절을 위해 KARL SUSS MA200에는 펠티어 (Peltier) 냉각 시스템이 표준으로 제공되어 프로세스 전체에서 일관된 온도를 보장합니다. 이를 통해 광범위한 재료에서 신뢰할 수있는 반복성이 가능합니다. 또한이 장치에는 가스 필터/정화 장치 (gas filter/purifier unit) 가 장착되어 들어오는 가스를 청소하고 오염을 최소화합니다. 공구가 작동 중일 때 자동으로 안전 (Safety) 기능이 사용되므로 MA 200 의 경우 안전이 우선 순위입니다. 장치가 사용할 때 유해 UV 방사선을 생성하므로 MICROTEC MA 200을 실행할 때 눈 보호가 필수적입니다. 한층 더 안심하기 위해, 자산에는 항상 인력 안전을 보장하기 위해 전용 안전 인터 록 (Safety Interlock) 이 제공됩니다. MICROTEC MA-200은 매우 강력한 기계로, 모든 종류의 photolithography 응용 프로그램에 대해 정확한 정렬 및 재생성을 제공합니다. 연구, 개발, 제조에 적합합니다. MA200은 정확한 사진 해설이 필요한 프로젝트에 적합한 안정적이고 효율적인 선택입니다.
아직 리뷰가 없습니다