판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9298780

KARL SUSS / MICROTEC MA 200
ID: 9298780
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2013
Mask aligner, 8" 2013 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA 200 Mask Aligner는 집적 회로 제작을 위해 photolithography 프로세스에 사용되는 아트 도구의 상태입니다. MICROTEC MA200은 다른 올인원 (All-in-One) 마스크 정렬기에 비해 탁월한 정확성과 반복성을 제공하여, 장치 산출량과 정확도가 중요한 프로덕션 어플리케이션에 적합합니다. KARL SUSS MA-200은 "기판 처리를 위해 XY 테이블" 을 사용합니다. 이를 통해 장치는 석판 처리 중에 기판을 X-Y 평면에 정확하게 배치 할 수 있습니다. 또한 MA-200에는 헤드를 사용하여 기판의 두께를 자동으로 감지하고 그에 따라 정렬을 조정하는 "자동 Z (Auto-Z)" 기능이 있습니다. 이것은 인간이 입력한 오류를 최소화하고 석판 과정이 정확하게 수행되도록 보장합니다. 또한, MA 200 마스크 정렬기는 통합 진공 챔버 (vacuum chamber) 를 가지며, 이는 석판주기 동안 기판을 안전하게 고정시킵니다. 이것은 외부 힘 (external force) 으로 인한 기질의 이동을 방지하고 공정의 정확성과 반복 성을 보장합니다. 또한 MICROTEC MA-200 (MICROTEC MA-200) 은 사용자가 정렬, 스텝, 반복 주기를 자동화하여 처리 시간을 단축하는 기능을 제공합니다. 시스템은 주로 Windows 기반 소프트웨어를 실행하는 외부 PC를 통해 제어됩니다. 따라서 모든 설정과 조정이 PC를 통해 조작 될 수 있으므로 KARL SUSS/MICROTEC MA200을 쉽게 사용할 수 있습니다. 또한 이 PC는 모든 프로세스 세부 정보를 하드 디스크에 저장하므로 장치 매개변수, 기판, 노출 레시피 등 모든 photomask 데이터를 효율적으로 반복, 추적할 수 있습니다. 마지막으로, MA200 마스크 정렬기는 동봉 된 UV 광원을 사용하여 하드 및 소프트 UV 리소그래피를 모두 수행 할 수 있습니다. 이것은 프로토 타입 개발 및 생산 볼륨 실행을위한 다용도 도구입니다. 전반적으로, KARL SUSS MA 200은 신뢰할 수 있고 정확한 마스크 정렬 기이며, 기존 생산 라인에 대한 다양한 통합에 적합합니다. 뛰어난 반복성, 종합적인 사용자 관리 시스템을 갖추고 있으며, 하드 (hard) 및 소프트 (soft) UV 리소그래피 기능을 모두 사용할 수 있습니다.
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