판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9266484

KARL SUSS/MICROTEC MA 200은 특히 고급 기능과 사용 편의성으로 눈에 띄는 정밀 마스크 정렬 자입니다. MICROTEC MA200은 micro-mechanical, microfluidic, micro-optical 및 semiconductor 프로세스를 포함한 다양한 사진 리토 그래피 요구를 위해 설계되었습니다. KARL SUSS MA-200은 고급 이미징 최적화, 오버레이 정확도, 용량 제어, 동일한 도구 전환, 온도, 진공 및 청소에 대한 통합 모니터링과 같은 다양한 photolithography 기능을 제공합니다. 사용자 입력 (user input) 을 최소화하는 여러 가지 자동 (automated) 기능이 있어 정확한 정렬 및 반복 기능을 필요로 하는 사용자에게 적합합니다. KARL SUSS/MICROTEC MA200은 사용자 정의 가능한 사용자 인터페이스를 갖추고 있어, 사용자가 가장 정밀하게 작업을 제어할 수 있습니다. 세라믹 플레이트 (ceramic plate), 가열판 (heated plate), 전동식 마스크 및 웨이퍼 등 최적화된 기판 처리를 위한 수많은 플랫폼 옵션이 장착되어 있습니다. 6 인치 및 8 인치 웨이퍼를 수용 할 수 있으며 0.25 미크론 오버레이 정확도, 0.05µm/분 노출 속도 및 최대 작문 형식은 100 x 140mm입니다. KARL SUSS/MICROTEC MA-200은 정밀 측정 시스템, 고해상도 광학, 정교한 테이블 드라이브 시스템, 온도 제어 등 고급 기술을 갖춘 완전 자동화 레이저 정렬 장치 및 기계입니다. SUS (Suss Advantage) 레이저 정렬 시스템을 사용하여 마스크 리프팅 없이 웨이퍼 위에 마스크를 정확하고 정확하게 배치할 수 있습니다. 전자적으로 제어되는 축 모터를 사용하면 정렬 프로세스의 테이블 드라이브 (table drive) 를 정렬 프로세스와 완벽하게 동기화하여 일치하지 않는 정밀도를 얻을 수 있습니다. MA200 은 모든 Aligner 매개변수와 처리량 데이터를 저장하는 내장형 하드 드라이브 (Hard-Drive) 를 통해 쉽게 참조 및 액세스할 수 있습니다. 또한, SEMI PV3000 인터페이스와 호환되므로 사용자는 다른 장비와 데이터 교환을 자동화할 수 있습니다. 또한 MA-200은 CE 및 EC 규정을 모두 준수하며 산업 및 안전 표준을 준수합니다. 결국, MA 200은 사용자에게 친숙한 인터페이스, 고급 레이저 정렬 기술, 정교한 기판 처리 기능을 갖춘 고성능 마스크 정렬기입니다. 최고의 정확성과 반복성을 제공하여 모든 사진 촬영 (photolithography) 요구 사항을 완벽하게 선택할 수 있습니다.