판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9239896

KARL SUSS/MICROTEC MA 200은 인쇄 회로 기판, 반도체 집적 회로 및 기타 다양한 평면 패널 디스플레이 제조에 사용되는 마이크로 리토 그래피 마스크 정렬 자입니다. 이 제품은 노출 과정에서 가공소재에 대한 포토 마스크 (photomask) 를 정확하게 정렬하도록 설계되었습니다. 마스크 정렬기는 2 개의 축 이동이 가능하며 2 개의 연속 동작이 가능하며, 마스크 및 기판을 원하는 정렬 사양의 0.2 ½ m 이내로 정렬 할 수 있습니다. MICROTEC MA200의 정밀도와 정확도는 x, y 및 y 좌표 위치 측정. 또한, 시스템은 외부 방사선으로부터 차폐 된 멀티 핀 등록 장치 (multi-pin registration unit), 3 개의 램프 초점 보상 컨트롤 및 자동 초점 제어 (auto-focus control) 를 가지고 있어 정밀 사양 내에 정렬이 유지됩니다. KARL SUSS MA-200에는 광학적으로 부드러운 노출 프로세스를 제공하는 여러 기능이 있습니다. 이 기계에는 반자동 초점 (focus) 및 노출 제어 (exposure control) 와 함께 디지털 마이크로미터 판독기가 장착되어 있습니다. 노출 광학은 노출 분야를 고르게 조명하여 처음으로 98% 의 노출 률 (imposure rate) 과 왜곡 제거 (distortion) 를 제공합니다. 노출 광학은 고해상도 (High Resolution) 를 제공하며 고속 노출 모드를 제공합니다. KARL SUSS/MICROTEC MA200에는 노출 단계, 사전 정렬 단계 및 등록 단계의 3 단계가 있습니다. 노출 단계는 photoresist와 기질의 노출을 촉진합니다. 사전 정렬 (Pre-alignment) 단계를 통해 정렬 대상의 0.2 äm 이내에 등록 오류를 유지하면서 기판의 포토 마스크 및 정렬 위치를 지정할 수 있습니다. 등록 단계를 통해 기판과 포토 마스크 (photomask) 를 정확하게 배치하고 등록 오류를 모니터링할 수 있습니다. MA200은 신뢰할 수있는 성능 마스크 정렬 자이자 신뢰할 수있는 마이크로 리토 그래피 도구입니다. 고도로 정확하고 정교한 정렬 도구는 마이크로 서킷 인쇄 (microcircuit printing) 와 반도체 (semiconductor) 및 평면 패널 (flat panel) 생산에서 신뢰할 수있는 것으로 입증되었습니다. 따라서, 그것은 전문 소석기 디자이너 및 제조업체가 선호하는 선택이되었습니다.