판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9238449

KARL SUSS / MICROTEC MA 200
ID: 9238449
웨이퍼 크기: 6"-8"
빈티지: 1995
Mask aligner, 6"-8" 1995 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA 200은 마이크로 일렉트로닉스의 광학 및 광학 정렬 응용 프로그램을위한 다재다능한 마스크 정렬 자입니다. 이 툴은 SMB (중소, 중견, 성장 기업) 운영, 연구 개발, 프로토타입 및 저용량 생산을 위한 경제적인 솔루션입니다. 이 정렬기는 이미지 감상용 대형 액정 디스플레이 (LCD), 이동식 마스크 홀더, 자동 정렬을위한 듀얼 빔 레이저 모니터, XYZ 스테이지의 자동 인덱싱 등을 갖추고 있습니다. 208 mm x 208 mm 노출 면적과 최대 5 mm의 기판 정렬로 설계되었습니다. MICROTEC MA200에는 고급 옵틱 장비 (optics equipment) 가 포함되어 있어 높은 정확도, 높은 반복성, 최소한의 왜곡으로 복잡한 집적 회로를 만들 수 있습니다. 조절 가능한 렌즈 시스템은 2 배에서 10 배의 3 가지 렌즈 옵션으로 구성됩니다. 광학은 광선을 효율적으로 캡처하기 위해 큰 조리개, 초점과 정확도 깊이를 최적화하기 위해 13.5mm (13.5mm), 마스크 홀더를 쉽게 조정 할 수있는 기계식 정렬 장치 (mechanical alignment unit) 를 사용합니다. 자동 정렬에 사용되는 주 레이저 빔 모니터 (main laser beam monitor) 는 틸팅 스캐너 (tilting scanner) 와 음향 광학 빔 스플리터 (acousto-optical beam splitter) 가있는 이중 축 기계입니다. KARL SUSS MA-200은 최대 16 개의 다른 이미지에서 데이터를 읽고, 표시하고, 저장할 수있는 고속 제어 프로세서로 구동됩니다. 프로세서는 또한 정렬 (alignment) 및 소스 정렬 (source alignment) 시스템을 제어하여 사용자가 이전 노출 실행을 반복하고 반복 가능한 결과를 확인할 수 있도록 합니다. 또한, 이 정렬기는 노출 및 포지셔닝 모니터링 툴을 내장하여, 노출 시간을 줄이고 과도한 노출 방지 (over-exposure) 를 지원합니다. 초기 MA200 설정은 간단하며 '노출 (exposure)' 및 '정렬 (alignment)' 에 사용될 매개변수를 선택해야 합니다. 이 자산은 포토레시스트, 솔더 마스크, 드라이 필름 레지스트 및 기타 여러 재료와 함께 사용하도록 프로그래밍 될 수 있습니다. 또한, 노출 및 정렬 프로세스는 여러 가지 접근 암 (approach arm), 여러 방법 (exposure) 으로 쉽게 구성되며, 최적의 결과를 얻기 위해 추가 도구가 필요하지 않습니다. 전반적으로 KARL SUSS/MICROTEC MA-200은 마이크로 일렉트로닉스 제조를위한 신뢰할 수 있고 사용자 친화적 인 마스크 정렬기입니다. 숙련된 이 시스템의 사용자는 자동화된 정렬 및 인덱싱 기능, 유연한 정렬 영역 (Alignment Area) 및 조정 가능한 옵틱 (Optic) 을 활용할 수 있습니다. 이 툴은 SMB (중소, 중견, 성장 기업) 운영 운영 및 연구/개발 프로젝트를 위한 비용 효율적이고 유연한 솔루션입니다.
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