판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9238448

KARL SUSS/MICROTEC MA 200은 고급 정밀 정렬 기능을 사용하여 photolithography 마스크를 정확하게 정렬하는 마스크 정렬자입니다. 이 마스크 정렬기는 1.25äm 스텝 크기로 마스크를 매우 정확하게 정렬하고, 최대 옵틱은 ± 2.2 äm입니다. 가장 까다로운 정렬 작업에 대한 반복성 (repeatability) 과 동적 반응 (Dynamic Response) 과 함께 고품질의 성능을 제공하기 위해 Precision Motor로 설계되었습니다. MICROTEC MA200은 상단 5축 포지셔닝 장비를 갖추고 있으며 스테퍼 모터, 직접 구동 모터, 선형 인코더를 조합하여 X, Y, Z 및 Theta 방향으로 마스크를 자동으로 이동하여 정밀한 정렬을 보장합니다. 또한 보안 마스크 로딩을위한 진공 척 (vacuum chuck) 과 ESD 보호 (ESD protection) 를 통해 마스크가 완벽한 작업 상태를 유지하도록 보장합니다. KARL SUSS MA-200은 최고의 정확성과 처리량을 달성하기 위해 최적화된 이미징과 고속 정렬을 제공합니다. 또한 이미지 품질이 향상된 고속 자동 초점 (auto-focus) 기능과 강력한 정렬 소프트웨어 (Alignment Software) 를 갖추고 있습니다. 이 마스크 정렬기는 또한 고급 비전 (Advanced Vision) 프로세서와 통합되어 빠르고 정확한 측정을 보장합니다. 정밀도 보정 장치 (precision calibration unit) 가 포함되어 있어 광학 경로가 정밀하게 정렬되어 있어 최고 수준의 정확도와 반복 (repeatability) 기능을 제공합니다. 또한 KARL SUSS/MICROTEC MA-200에는 사용자 정의 가능한 사용자 인터페이스, 자동 정보 하위 시스템, 열 보상 시스템 및 정확한 PSD 보정과 같은 다른 기능 세트가 있습니다. 마이크로텍 MA-200 (MICROTEC MA-200) 은 에어 베어링 (air-bearing) 정렬을 위해 설치되며 편리한 안전 잠금 기능과 사용자 편의를 위한 상태 모니터링을 갖추고 있습니다. 또한 빠른 다중 마스크 스캐닝을 위한 검출기 (detector) 어레이가 포함되어 있으며, 안정적인 작동을 위한 고급 냉각 툴로 설계되었습니다. KARL SUSS MA 200은 최신 광학 정렬 기술 (Optical Alignment Technologies) 로 설계되었으며 다양한 Photolithographic 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다. 정밀도가 높은 정렬 기능과 강력한 성능을 갖춘 MA 200 (MA 200) 은 사진 분석 마스크의 정확하고 안정적인 정렬을 위한 완벽한 도구입니다.