판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9222504
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ID: 9222504
웨이퍼 크기: 8"
Mask aligner, 8"
Main body
Power supply
Lamp housing
Vacuum accumulator
CRT Stand
Beacon light tower
Tote-1 Miscellaneous: Computer & mouse
Tote-2 Miscellaneous: Motor & end effectors.
KARL SUSS/MICROTEC MA 200은 마이크로 전자 장치 생산에서 포토 마스크의 정밀 정렬 및 노출에 사용되는 자동 마스크 정렬 자입니다. MICROTEC MA200은 현대 마이크로 전자 제조 수율을 달성하는 데 필요한 정밀도와 속도를 제공합니다. KARL SUSS MA-200은 단계 개체 테이블을 사용하여 X, Y 및 Z 방향으로 다양한 모양과 크기의 전자 장치를 정확하게 정렬합니다. 미세 피치 단계 (Fine Pitch Stage) 와 정확한 기계적 정렬 (Mechanical Alignment) 을 결합하여 전자 부품의 서브 미크론 정밀도 포지셔닝과 빠른 설정 시간을 달성 할 수 있습니다. MICROTEC MA 200은 65,000 위치 초 미세 피치 기계 정렬 XY 테이블을 사용하여 물체 또는 기판 위치를 지정합니다. 라이카 광학 (Leica optics) 은 200mm 시야를 제공하여 배경 명암이 높고 빛이 낮은 작업 분야를 확보하는 반면, 흰색 광원은 정렬 대상에 대한 넓은 필드 노출을 제공합니다. KARL SUSS/MICROTEC MA200은 최대 4 개의 쿼츠 복사 램프와 UV 및 가시 광원 노출을위한 다양한 교환 가능한 램프 소스를 갖춘 다양한 노출 기능을 제공합니다. 램프는 전원 공급 장치에 연결되며 최대 설정은 1000 Watt/cm2입니다. 전원 공급 장치는 기판에 균등하고 일관된 최대 노출을 보장합니다. MA200에는 부품 정렬의 최적의 정확성과 여러 단계 및 반복 (step-and-repeat) 기능을 위해 레이저 fiducial 정렬이 장착되어 있습니다. 스텝 앤 리피트 (Step-and-repeat) 를 사용하면 기판의 여러 위치에 동일한 구조를 자동으로 반복하여 기판 공간을 효율적으로 사용할 수 있습니다. KARL SUSS MA 200은 글로벌 노출 균일성을 분석하기위한 새로운 프레임 워크를 제공합니다. 이 시스템은 GNUC (Global Non-Uniformity Compensation) 및 APC (Advanced Process Control) 를 통합하고 실시간 피드백 및 자동 조정을 제공하여 신뢰성을 향상시키고 수율을 향상시킵니다. MICROTEC MA-200 마스크 정렬기는 효율적이고 정확한 포토 마스크 생산에 필수적인 도구입니다. 고정밀 기계적 정렬, 다중 노출 기능, 레이저 fiducial 정렬 및 APC 시스템은 모두 마이크로 일렉트로닉스 산업을위한 고품질 포토 마스크 생산을 돕기 위해 설계되었습니다.
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