판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9216745

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ID: 9216745
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1998
Mask aligner, 8", parts system P/N: 210AA057-03 Microscope objectives Controller PCB Wafer handler Chuck Cables Pressure controllers Gauges 1998 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA 200은 마이크로 전자 장치의 제작을 위해 설계된 고급 자동 마스크 정렬 자입니다. 3 ~ 4 미크론의 정렬 정확도를 가진 완전 자동 장비이며, 최대 14 개의 마스크 또는 레이어를 정렬 할 수 있습니다. 이 시스템은 스테퍼 렌즈 (stepper lens) 와 진공 척 (vacuum chuck) 으로 구성되어 여러 층의 정렬을 정확하게 제어합니다. "스테퍼 렌즈 '는" 미크론' 의 순서 의 정렬 정확도 를 달성 할 수 있으며, "마스크 '와" 웨이퍼' 가 적절 히 겹치고 모든 특징 이 정확 하게 정렬 되어 있다. 마이크로텍 MA200 (MICROTEC MA200) 에는 첨단 모션 및 제어 장치가 장착되어 있어 현미경의 위치가 정확하고 정확한지 확인합니다. 기계는 마스크와 웨이퍼 모두에 대해 2 축 조정을 제공합니다. 이렇게 하면 정렬 중에 피쳐가 올바르게 정렬되도록 마스크 (mask) 또는 웨이퍼 (wafer) 를 정확하게 배치할 수 있습니다. 또한 이 도구는 고품질 브라이트필드의 광학 이미지를 통해 정렬을 시각적으로 확인할 수 있습니다. 마스크 패턴은 고정밀도 마스크 정렬기 (high precision mask aligner) 로 생성되므로 모든 피쳐가 정확하게 형성됩니다. 또한, 이 에셋에는 여러 개의 레이어와 칩을 빠르고 정확하게 정렬할 수 있는 전용 칩 (chip-by-chip) 정렬 기능이 있습니다. KARL SUSS MA-200은 photolithography, imaging 및 chemical-mechanical polishing과 같은 광범위한 응용 분야를 위해 설계되었습니다. 광범위한 전자 및 반도체 부품 제조에 사용됩니다. 이 모델에는 사용자의 개별 요구사항에 맞게 다양한 옵션 (optional) 기능이 장착되어 있습니다. KARL SUSS/MICROTEC MA-200은 반도체 장치의 미세 제작에 수년 동안 사용 된 기존 마스크 정렬 자입니다. 매우 정밀하게 다양한 크기의 마이크로 스케일 (micro-scale) 기능을 정렬하는 데 사용할 수 있는 안정적이고 매우 정확한 도구입니다. 이는 리서치 (Research) 와 업계 모두에서 광범위한 애플리케이션에 적합합니다.
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